5. ConclusionsAn energy harvesting

5. Conclusions
An energy harvesting thermoelectric micro generator manufactured using the commercial
CMOS-process has been implemented. The micro generator was constructed by 33 thermocouples in
series. Each thermocouple consisted of p-type and n-type polysilicon strips. The output power of the
generator depended on the temperature difference between the hot and cold parts in the thermocouples.
The hot part of the generator located on a suspended plate for reducing the heat-sinking. A post-CMOS
process was utilized to release the hot part of the generator, and the post-process included an
anisotropic dry etching with CHF3/O2 RIE to remove the sacrificial oxide layer and an isotropic dry
etching with XeF2 RIE to etch the silicon substrate. The experimental results showed that the output
power of the thermoelectric generator was about 9.4 μW as the temperature difference of 15 K and the
power factor of the generator was 1.4 × 10−2 μW mm−2 K−2. The thermoelectric micro generator is
suitable for application in microelectronic devices as an auxiliary electrical power source. The power
of the device can be enhanced using many generators in series. In addition, the power of the generator
can also be improved by structure design to increase the temperature difference of hot and cold
junctions and by changing thermocouple materials to increase the Seebeck coefficient difference.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

5. บทสรุป
การเก็บเกี่ยวแบบเทอร์โมอิเล็กทริกส์ไมโครผลิตเชิงพาณิชย์โดยใช้เครื่องกำเนิดพลังงาน
CMOS-การใช้งาน เครื่องกำเนิดไฟฟ้าขนาดเล็กถูกสร้างขึ้น โดยเทอร์โมคัปเปิล 33 ใน
ชุด Thermocouple แต่ละประกอบด้วยชนิด p และชนิด n polysilicon แถบ กำลังขับของการ
เครื่องกำเนิดไฟฟ้าขึ้นอยู่กับความแตกต่างอุณหภูมิระหว่างร้อน และเย็นส่วนในเทอร์โมคัปเปิล
ส่วนร้อนของเครื่องกำเนิดไฟฟ้าอยู่บนจานระงับการลดความร้อนกำลังจม โพสต์-CMOS
มีใช้กระบวนการปลดปล่อยส่วนร้อนของเครื่องกำเนิด และกระบวนการหลังรวมเป็น
กัดแห้ง anisotropic ด้วย RIE CHF3/O2 เอาชั้นออกไซด์บูชาและแห้งเป็น isotropic
แกะสลักกับ RIE XeF2 จะกัดพื้นผิวซิลิกอนที่ ผลการทดลองพบว่าผลผลิต
พลังงานของเครื่องกำเนิดไฟฟ้าแบบเทอร์โมอิเล็กทริกส์ได้ประมาณ 9.4 μW เป็นผลต่างอุณหภูมิ 15 K และ
ปัจจัยเครื่องกำเนิดพลังงาน 1.4 × 10−2 μW mm−2 K−2 เป็นเครื่องกำเนิดแบบเทอร์โมอิเล็กทริกส์ไมโคร
เหมาะสำหรับโปรแกรมประยุกต์ในอุปกรณ์ microelectronic เป็นไฟฟ้าเสริม อำนาจ
อุปกรณ์สามารถจะเพิ่มการใช้เครื่องกำเนิดไฟฟ้าหลายชุดได้ นอกจากนี้ พลังงานของเครื่องกำเนิด
ยังสามารถปรับปรุง โดยการออกแบบโครงสร้างเพื่อเพิ่มความแตกต่างอุณหภูมิของน้ำร้อนและเย็น
junctions และ โดยการเปลี่ยนวัสดุ thermocouple เพิ่ม Seebeck สัมประสิทธิ์ความแตกต่างได้

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

5 . สรุป
เป็นพลังงานเทอร์โมไฟฟ้าขนาดเล็กผลิตโดยใช้กระบวนการเชิงพาณิชย์
CMOS ที่มีการใช้งาน เครื่องกำเนิดไฟฟ้าขนาดเล็กที่ถูกสร้างขึ้นโดย 33 thermocouples ใน
ชุด แต่ละคนและเทอร์โมคัปเปิ้ลพีแผ่น polysilicon ทั่วไป . เอาต์พุตของ
เครื่องกำเนิดไฟฟ้าขึ้นอยู่กับผลต่างอุณหภูมิระหว่างส่วนที่ร้อนและเย็นในเทอร์โมคัปเปิล .
ส่วนร้อนของเครื่องกำเนิดไฟฟ้าตั้งอยู่บนแขวนแผ่นลดความร้อนจม กระบวนการโพสต์ CMOS
ใช้ปล่อยส่วนร้อนของเครื่องกำเนิดไฟฟ้า และกระบวนการโพสต์รวม
อุบบริการแกะสลักด้วย chf3 / O2 ริเอะจะเอาลูกชั้นออกไซด์และแบบแห้ง
แกะสลักด้วย xef2 ริเอะการกัดซิลิคอน . ผลการทดลองพบว่า ผลผลิต
พลังของเครื่องกำเนิดไฟฟ้าเทอร์โมประมาณ 9.4 μ W ที่อุณหภูมิต่างกัน 15 K
พลังปัจจัยของเครื่องกำเนิดไฟฟ้าคือ 1.4 × 10 − 2 μ W อืม− 2 , − 2 . เครื่องกำเนิดไฟฟ้าไมโครเทอร์โมเป็น
เหมาะสําหรับใช้ในอุปกรณ์ microelectronic เป็นแหล่งพลังงานไฟฟ้าช่วย พลัง
ของอุปกรณ์ที่สามารถเพิ่มการใช้ไฟฟ้ามากในชุด นอกจากนี้พลังของเครื่องกำเนิดไฟฟ้า
ยังสามารถปรับปรุงได้ โดยการออกแบบโครงสร้างเพื่อเพิ่มความแตกต่างของอุณหภูมิร้อนและเย็น และโดยการเปลี่ยนวัสดุเทอร์โมคัปเปิ้ล
junctions เพิ่มวัดค่าสัมประสิทธิ์ความแตกต่าง