Highlights•High quality SnO2 thin f

Highlights
•High quality SnO2 thin films were prepared by PEALD using SnCl4 and O2 plasma.
•PEALD-SnO2 thin films exhibited no Cl impurities and high film density.
•The electrical and corrosion properties of PEALD-SnO2 was evaluated.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ไฮไลท์ทั้งคุณภาพ SnO2 ฟิล์มบางที่เตรียม โดย PEALD ใช้พลาสม่า SnCl4 และ O2ฟิล์มบางของ •PEALD SnO2 จัดแสดงไม่แขวนสิ่งสกปรกและความหนาแน่นของฟิล์มสูง•The ไฟฟ้า และมีประเมินคุณสมบัติการกัดกร่อนของ PEALD SnO2

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ไฮไลท์•คุณภาพ SnO2 ฟิล์มบางที่ถูกจัดทำขึ้นโดยใช้ PEALD SnCl4 และ O2 พลาสม่า. • PEALD-SnO2 ฟิล์มบางแสดงไม่มีสิ่งสกปรก Cl และความหนาแน่นสูงภาพยนตร์. •คุณสมบัติไฟฟ้าและการกัดกร่อนของ PEALD-SnO2 ถูกประเมิน