A tactile probing system based on d

A tactile probing system based on differential capacitive
sensor is proposed for ultraprecision dimensional and profile
measurement of small structures. This initial capacitive sensor
was fabricated by MEMS technology.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ระบบ probing เพราะตามควบคุมแตกต่างกันเซ็นเซอร์จะเสนอสำหรับการ ultraprecision รูป และประวัติประเมินโครงสร้างขนาดเล็ก เซ็นเซอร์ควบคุมการเริ่มต้นนี้มีหลังสร้าง โดยเทคโนโลยี MEMS

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

สัมผัสระบบแหย่อยู่บนพื้นฐานของความแตกต่าง capacitive
เซ็นเซอร์เสนอสำหรับ ultraprecision
มิติและรายละเอียดการวัดของโครงสร้างขนาดเล็ก เซ็นเซอร์ capacitive
นี้เริ่มต้นได้รับการประดิษฐ์โดยเทคโนโลยีMEMS

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เป็นระบบสัมผัสละเอียดตามค่าเซ็นเซอร์ capacitive
เสนอ ultraprecision มิติและรายละเอียด
การวัดของโครงสร้างขนาดเล็ก ครั้งแรกนี้แบบเซ็นเซอร์
ถูกสร้างขึ้นมาจากเทคโนโลยี MEMS .