Au thin film as the bottom electrode offers some advantages, such as good chemical stability, low oxidation, and high density that lead toa pristine and favorable nucleation sites for the AlN growth
Au ฟิล์มบางเป็นอิเล็กโทรด้านล่างมีข้อได้เปรียบบางอย่างเช่นเสถียรภาพทางเคมีที่ดีออกซิเดชั่ต่ำและความหนาแน่นสูงที่นำไปสู่เว็บไซต์ที่ทีโอเอนิวเคลียสเก่าแก่และดีสำหรับการเจริญเติบโต ALN