Turbomolecular pump are now widely

Turbomolecular pump are now widely used in plasma etching applications because of their cleanliness and ability to handle relatively high throughputs of gas continuously . standard pumps showed poor resistance to corrosion in initial trials and a lifetime of less than 50 hours of pumping chlorinated substances was quoted by one manufacturer . the primary point of attack is on the bearing via the lubricant , leading to failure . lubricating with PFPE fluid did not significantly improve the situation.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ปั๊ม Turbomolecular ตอนนี้ใช้ในพลาสมาที่แกะสลักงานความสะอาดและความสามารถในการจัดการ throughputs ค่อนข้างสูงของก๊าซอย่างต่อเนื่อง ปั๊มมาตรฐานพบดีต้านทานการกัดกร่อนในการทดลองเบื้องต้น และอายุการใช้งานน้อยกว่า 50 ชั่วโมงเครื่องสูบสารคลอรีนถูกอ้างอิง โดยผู้ผลิตหนึ่ง จุดหลักของการโจมตีอยู่แบริ่งผ่านน้ำมันหล่อลื่น นำไปสู่ความล้มเหลว หล่อลื่น ด้วยน้ำมัน PFPE ได้ไม่มากปรับปรุงสถานการณ์ที่

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ปั๊ม Turbomolecular ตอนนี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในการใช้งานแกะสลักพลาสม่าเพราะของความสะอาดและความสามารถของพวกเขาที่จะจัดการกับ throughputs ที่ค่อนข้างสูงของก๊าซอย่างต่อเนื่อง ปั๊มมาตรฐานแสดงความต้านทานการกัดกร่อนที่ไม่ดีในการทดลองครั้งแรกและอายุการใช้งานน้อยกว่า 50 ชั่วโมงของสารคลอรีนสูบน้ำถูกยกมาโดยหนึ่งในผู้ผลิต จุดหลักของการโจมตีอยู่บนแบริ่งผ่านน้ำมันหล่อลื่นที่นำไปสู่​​ความล้มเหลว หล่อลื่นด้วยของเหลว PFPE ไม่ได้อย่างมีนัยสำคัญปรับปรุงสถานการณ์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

turbomolecular ปั๊มตอนนี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในพลาสมาแกะสลักงานเพราะพวกเขามีความสะอาดและความสามารถในการจัดการ throughputs ค่อนข้างสูงของก๊าซอย่างต่อเนื่อง ปั๊มมาตรฐานพบยากจนความต้านทานต่อการกัดกร่อนในการทดลอง และอายุการใช้งานน้อยกว่า 50 ชั่วโมง ปั๊มคลอรีน สารตั้งต้นถูกยกมาโดยหนึ่งในผู้ผลิตประเด็นหลักของการโจมตีบนแบริ่งผ่านสารหล่อลื่นที่นำไปสู่ความล้มเหลว หล่อลื่นด้วย pfpe ของเหลวไม่ได้ปรับปรุงสถานการณ์