. The size of port for the Turbomol

. The size of port for the Turbomolecular pump is ICF203.
. There are 6 ports (ICF70) for electrical feedthrough and 2 spare ports.
. Two manual beam monitors are equipped with at its upstream and downstream.
. Two piezo actuator are equipped with for θy movement.
. The distance between entrance and exit port is 1170mm (include conversion flange)
. Rotation center for θ axis coincides with 2nd crystal surface.
. The height from the floor of rotation center (2nd crystal center) is 1158.5 mm and distance from the source is 18400 mm.
. Attainment level of vacuum is about ~ 1×〖10〗^(-5) Pa.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

. มีขนาดของพอร์ตสำหรับปั๊ม Turbomolecular ICF203.
มี 6 พอร์ต (ICF70) feedthrough ไฟฟ้าและอะไหล่พอร์ต 2.
สองจอภาพแสงด้วยตนเองพร้อมของขั้นต้นน้ำ และน้ำ.
สอง piezo actuator จะพร้อมสำหรับการย้าย θy.
ระยะห่างระหว่างทางเข้าและออกจากพอร์ตเป็นพัก 1170 มม. (รวมแปลงแปลน)
ศูนย์หมุนแกนθกรุณาผิวคริสตัล 2.
ความสูงจากพื้นหมุนศูนย์ (ศูนย์คริสตัล 2) 1158.5 มม. และระยะห่างจากแหล่ง มม. 18400.
โดยระดับของสุญญากาศคือ ~ 1×〖10〗
(-5) Pa.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

. ขนาดของพอร์ตสำหรับปั๊ม Turbomolecular เป็น ICF203
. มี 6 พอร์ต (ICF70) สำหรับฟีดทรูไฟฟ้าและ 2 พอร์ตว่างมี
. สองจอภาพคานคู่มือมีการติดตั้งที่ดีต้นน้ำและปลายน้ำ
. สองตัวกระตุ้นแบบ piezo มีการติดตั้งสำหรับθy การเคลื่อนไหว
. ระยะห่างระหว่างทางเข้าและพอร์ตออกเป็น 1170mm (รวมถึงการแปลงหน้าแปลน)
. ศูนย์การหมุนแกนθเกิดขึ้นพร้อมกับพื้นผิวผลึก 2
. ความสูงจากพื้นศูนย์การหมุน (ศูนย์คริสตัลที่ 2) เป็น 1,158.5 มิลลิเมตรและระยะทางจากแหล่งที่มาที่ 18400 มม
. ระดับความสำเร็จของสูญญากาศประมาณ ~ 1 ×〖〗 10 ^ (- 5) ป่า

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

. ขนาดของพอร์ตสำหรับปั๊ม turbomolecular เป็น icf203 .

มี 6 พอร์ต ( icf70 ) สำหรับ feedthrough ไฟฟ้าและ 2 พอร์ตว่าง

สองจอ บีม คู่มือพร้อมที่ด้านเหนือน้ำและท้ายน้ำ .

สอง Piezo Actuator พร้อมสำหรับการเคลื่อนไหวθ Y .

ระยะห่างระหว่างทางเข้าออกท่าเรือ 1170mm ( รวมถึงการแปลงของหน้าแปลน )

ศูนย์การหมุนของแกนθ coincides กับคริสตัลผิว 2 .

ความสูงจากพื้นของศูนย์การหมุน ( ศูนย์คริสตัล 2 ) 1158.5 มิลลิเมตรและระยะห่างจากแหล่ง 18400 อืม . .

ความสำเร็จระดับสูญญากาศคือ ~ 1 ×〖〗 10
( - 5 ) .