The development of micromachining M

The development of micromachining MEMS/NEMS technology
has allowed for the development of low-cost, accurate and
smart sensors for scientific, industrial and consumer applications.
A review of the research and development in this field is presented
in Ref. [5]. This article contains an overview of physical principle
of flow measurement, and the basic information of the construction
and parameters of selected devices. One of the newer and
most interesting developments in MEMS area is the Temperature
Balanced Anemometry [6,7]. In this method the temperature difference
between an up-stream and a down-stream thermometer
is kept at zero level, by controlled distribution of heating power.
This method allows to obtain high-sensitive, low-drift flow sensor.
Publication [8] contains a comprehensive review of such a lowdrift
type of sensors. However, calorimetric sensors in most cases,
require calibration. Another interesting construction in the field
of MEMS flow sensor is a hybrid integrated thermal-microcoriolis
device [9]. This sensor covers ultra-wide dynamic flow range of
more then five decades.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การพัฒนาของ micromachining เทคโนโลยี MEMS/NEMSได้รับอนุญาตสำหรับการพัฒนาต้นทุนต่ำ ถูกต้อง และเซ็นเซอร์สมาร์ทสำหรับโปรแกรมประยุกต์อุตสาหกรรมและผู้บริโภคทางวิทยาศาสตร์จากการทบทวนงานวิจัยและพัฒนาในฟิลด์นี้จะแสดงในอ้างอิง [5] บทความนี้ประกอบด้วยภาพรวมของหลักการทางกายภาพวัดกระแส และข้อมูลพื้นฐานของการก่อสร้างและพารามิเตอร์ของอุปกรณ์ที่เลือก หนึ่งใหม่ และส่วนใหญ่การพัฒนา MEMS บริเวณที่น่าสนใจคือ อุณหภูมิสมดุล Anemometry [6,7] วิธีนี้ความแตกต่างของอุณหภูมิระหว่างการสตรีมขึ้นปรอทลงลำธารจะเก็บไว้ที่ศูนย์ระดับ ได้ โดยควบคุมการกระจายของพลังงานความร้อนวิธีนี้ช่วยให้การรับเซ็นเซอร์กระแส ความสูง ต่ำดริฟท์ประกาศ [8] ประกอบด้วยการตรวจสอบครอบคลุมของ lowdrift ดังกล่าวชนิดของเซนเซอร์ อย่างไรก็ตาม เซนเซอร์ calorimetric ใหญ่ต้องการปรับเทียบ ก่อสร้างน่าสนใจอื่นในฟิลด์MEMS เซ็นเซอร์กระแสเป็นการผสมรวมกับความร้อน-microcoriolisอุปกรณ์ [9] เซ็นเซอร์นี้ครอบคลุมช่วงไหลกว้างพิเศษแบบไดนามิกเพิ่มเติมแล้วห้าทศวรรษ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การพัฒนาของไมโคร MEMS / NEMS เทคโนโลยี
ได้รับอนุญาตสำหรับการพัฒนาต้นทุนต่ำที่ถูกต้องและ
เซ็นเซอร์สำหรับสมาร์ททางวิทยาศาสตร์อุตสาหกรรมและการใช้งานของผู้บริโภค.
การตรวจสอบของการวิจัยและพัฒนาในด้านนี้จะนำเสนอ
ในการอ้างอิง [5] บทความนี้มีภาพรวมของหลักการทางกายภาพ
ของการวัดการไหลและข้อมูลพื้นฐานของการก่อสร้าง
และพารามิเตอร์ของอุปกรณ์ที่เลือก หนึ่งในใหม่และ
การพัฒนาที่น่าสนใจมากที่สุดในพื้นที่ MEMS คืออุณหภูมิ
สมดุล Anemometry [6,7] ในวิธีการนี้แตกต่างของอุณหภูมิ
ระหว่างขึ้นกระแสและวัดอุณหภูมิลงสตรีม
จะถูกเก็บไว้ที่ศูนย์ระดับโดยการควบคุมการแจกจ่ายของพลังงานความร้อน.
วิธีการนี้จะช่วยให้ได้รับสูงที่มีความสำคัญต่ำลอยเซ็นเซอร์วัดการไหล.
ตีพิมพ์ [8] มี ทานที่ครอบคลุมของเช่น lowdrift
ประเภทของเซ็นเซอร์ อย่างไรก็ตามเซ็นเซอร์แคลอรีในกรณีส่วนใหญ่
จำเป็นต้องมีการสอบเทียบ อีกประการหนึ่งที่น่าสนใจในการก่อสร้างสนาม
ของเซ็นเซอร์วัดการไหล MEMS เป็นไฮบริดแบบบูรณาการความร้อน microcoriolis
อุปกรณ์ [9] เซ็นเซอร์นี้ครอบคลุมช่วงการไหลแบบไดนามิกกว้างพิเศษของ
มากกว่าห้าสิบปี