ICP-MS เป็นเทคนิคการวิเคราะห์ปริมาณธาตุที่ได้รับความนิยมมาก สามารถวิเคราะห์ได้เกือบทุกธาตุในตารางธาตุ ให้ความไวในการตรวจวัดสูงทำให้วิเคราะห์ธาตุในระดับต่ำๆ เครื่อง ICP-MS ถูกพัฒนาอย่างต่อเนื่องจนมีประสิทธิภาพที่สูงขึ้น มีการประยุกต์ใช้กับตัวอย่างที่หลากหลาย อาจเรียกได้ว่า ICP-MS เป็นทางเลือกใหม่ของการวิเคราะห์ปริมาณธาตุ