ConclusionsElectrospraying was prov

Conclusions
Electrospraying was proved to be a versatile tool for various material processing technologies. A number of established and emerging electrospray applications for thin film deposition have been presented. The goal of this review was to provide a summary of electrospray applications in thin solid film deposition. A large number of examples of practical significance, or only laboratory-scale experiments have been given. The presented methods are compared in Tables 1 and 2. Electrospray has advantages of uniform coating of large areas, inexpensive equipment, operation at atmospheric conditions, and easy control of deposition rate and film thickness by adjusting voltage and flow rate. Advances in electrospray applications in thin film deposition will certainly continue in near future, particularly in nanotechnology and biotechnology, and new achievements in this field can be expected. However, there are still a number of challenges to be faced, needed for commercial thin film production.
One of such problems is a specific electrospray mode control. Electrospray is very sensitive to the liquid physical properties and the electric field in the vicinity of the emitter tip. The issue of continuous control of spray modes has been undertaken by Valaskovic et al. An orthogonal opto-electronic system based on the spray plume observation in certain characteristic cross sections, which controls the applied voltage has been developed. For further development in MEMS, nanotechnology, and nanoelectronics it will be necessary to develop the direct patterning techniques for the deposition of thin layers of pattern size finer than 1 lm. Although an attempt was made to consider wide spectrum of relevant refereed papers, the literature cited in this paper is by no means complete. However, the author believes that it should provide the reader with the development and application of electrospraying, including LMISs, in thin film deposition.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

บทสรุปElectrospraying ได้พิสูจน์ให้เป็นเครื่องมือเอนกประสงค์สำหรับเทคโนโลยีการแปรรูปวัสดุต่าง ๆ มีการนำเสนองานสร้าง และเกิดวิธีพ่นละอองไฟฟ้าสำหรับสะสมฟิล์มบางของ เป้าหมายของบทความนี้ให้สรุปประยุกต์วิธีพ่นละอองไฟฟ้าในฟิล์มแข็งบางสะสมได้ ตัวอย่างของความสำคัญการปฏิบัติ หรือเฉพาะเครื่องชั่งห้องปฏิบัติการทดลองเป็นจำนวนมากได้รับ วิธีการนำเสนอมีการเปรียบเทียบในตารางที่ 1 และ 2 วิธีพ่นละอองไฟฟ้ามีข้อดีของการเคลือบเป็นรูปแบบของพื้นที่ขนาดใหญ่ อุปกรณ์ราคาไม่แพง สภาพอากาศ และง่ายต่อการควบคุมความหนาของฟิล์มและอัตราสะสม โดยการปรับอัตราแรงดันและกระแส ความก้าวหน้าในการใช้งานวิธีพ่นละอองไฟฟ้าในฟิล์มบางสะสมแน่นอนจะดำเนินในใกล้อนาคต โดยเฉพาะอย่างยิ่งในด้านเทคโนโลยีชีวภาพและนาโนเทคโนโลยี และสามารถคาดหวังความสำเร็จใหม่ในฟิลด์นี้ อย่างไรก็ตาม ยังมีจำนวนของความท้าทายที่ต้องเผชิญ จำเป็นสำหรับการผลิตฟิล์มบางเพื่อการค้าปัญหาดังกล่าวอย่างใดอย่างหนึ่งวิธีพ่นละอองไฟฟ้าเฉพาะโหมดควบคุมได้ วิธีพ่นละอองไฟฟ้ามีความสำคัญมากในการคุณสมบัติทางกายภาพของเหลวสนามไฟฟ้าที่ดีแนะนำตัวส่ง เรื่องสเปรย์โหมดควบคุมต่อเนื่องได้ถูกดำเนินโดย Valaskovic et al ได้รับการพัฒนาระบบ opto อิเล็กทรอนิกส์ orthogonal ตามสังเกตเบิ้ลพลูมสเปรย์ในบางลักษณะข้าม ที่ควบคุมแรงดันไฟฟ้าที่ใช้ การพัฒนา MEMS นาโนเทคโนโลยี และนาโนอิเล็กทรอนิกส์เพิ่มเติม มันจะจำเป็นต้องพัฒนาเทคนิค patterning โดยตรงสำหรับสะสมของชั้นบางของลายขนาดละเอียดกว่า 1 lm แม้ว่าความพยายามที่จะพิจารณาเอกสารที่เกี่ยวข้อง refereed หลากหลาย วรรณกรรมที่อ้างถึงในเอกสารนี้เสร็จโดยไม่มี อย่างไรก็ตาม ผู้เขียนเชื่อว่า มันควรให้ผู้อ่าน มีการพัฒนาและประยุกต์ใช้ electrospraying, LMISs รวมถึงสะสมฟิล์มบาง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

สรุป
electrospraying ถูกพิสูจน์แล้วว่าเป็นเครื่องมืออเนกประสงค์สำหรับเทคโนโลยีการประมวลผลวัสดุต่าง ๆ จำนวนสร้าง และเกิดการสะสมวิธีพ่นละอองไฟฟ้าฟิล์มบางได้รับการเสนอ เป้าหมายของบทความนี้คือเพื่อให้ข้อมูลสรุปของการใช้งานในบางวิธีพ่นละอองไฟฟ้าฟิล์มแข็งเคลือบ จำนวนตัวอย่างของความสำคัญในทางปฏิบัติหรือการทดลองระดับห้องปฏิบัติการเท่านั้นที่ได้รับ เสนอวิธีการเปรียบเทียบในตารางที่ 1 และ 2 วิธีพ่นละอองไฟฟ้ามีข้อดีของการเคลือบเครื่องแบบของพื้นที่ขนาดใหญ่อุปกรณ์ที่ไม่แพง , การดำเนินงานที่สภาวะอากาศ และควบคุมง่าย อัตราการเคลือบและความหนาของฟิล์ม โดยการปรับแรงดันและอัตราการไหลความก้าวหน้าในการประยุกต์ในการเคลือบฟิล์มบางวิธีพ่นละอองไฟฟ้าอย่างแน่นอนยังคงในอนาคตอันใกล้ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในนาโนเทคโนโลยี เทคโนโลยีชีวภาพ และความสำเร็จใหม่ในฟิลด์นี้จะสามารถคาด อย่างไรก็ตาม ยังคงมีจำนวนของความท้าทายที่ต้องเผชิญ ที่จำเป็นสำหรับการผลิตฟิล์มบางเชิงพาณิชย์ .
หนึ่งของปัญหาดังกล่าวโดยวิธีพ่นละอองไฟฟ้าโหมดควบคุมวิธีพ่นละอองไฟฟ้าอ่อนไหวมากกับของเหลวคุณสมบัติทางกายภาพและสนามไฟฟ้าในบริเวณใกล้เคียงของตัวส่งสัญญาณที่ปลาย ปัญหาการควบคุมอย่างต่อเนื่องของโหมดสเปรย์ ได้ดำเนินการโดย valaskovic et al . เป็นวิธี Opto อิเล็กทรอนิกส์ ระบบบนพื้นฐานของสเปรย์ขนนกการสังเกตในส่วนข้ามแน่นอน ซึ่งการควบคุมความต่างศักย์ ได้รับการพัฒนาการพัฒนาเพิ่มเติมใน MEMS นาโนเทคโนโลยี และผู้ร่วมงานก็จะต้องพัฒนาโดยการเลียนแบบเทคนิคสำหรับการสะสมของชั้นบางของรูปแบบขนาดความละเอียดกว่า 1 ไมโครเมตร แม้ว่ามีความพยายามที่จะพิจารณาในสเปกตรัมกว้างของเอกสารที่เกี่ยวข้อง กรรมการ วรรณคดีที่อ้างถึงในบทความนี้ไม่สมบูรณ์ อย่างไรก็ตามผู้เขียนเชื่อว่ามันควรจะให้ผู้อ่านที่มีการพัฒนาและการประยุกต์ใช้ electrospraying รวมทั้ง lmiss ในการเคลือบฟิล์มบาง .