Comparative Study of an RF and a Mi

Comparative Study of an RF and a Microwave
High-Density-Plasma Source
for Plasma Immersion Ion Implantation

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

มี RF และไมโครเวฟการศึกษาเปรียบเทียบต้นสูง-Density-พลาสมาสำหรับพลาสมาแช่ไอออนฤทธิ์

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การศึกษาเปรียบเทียบการ RF และไมโครเวฟ
ความหนาแน่นสูง-พลาสม่าที่มา
สำหรับพลาสม่าแช่ไอออนเทียม

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การศึกษาเปรียบเทียบการ RF และไมโครเวฟพลาสมาความหนาแน่นสูงแหล่ง

สำหรับการปลูกฝังไอออนแช่พลาสมา