3.1. Discharge current waveformsDis

3.1. Discharge current waveforms
Discharge current density waveforms for sputtering of Ni at different current/pulse power densities are shown in Fig. 4 for the on-time of 300 μs. Increasing the duty cycle, the pulse power was decreasing. For low pulse powers, a typical HiPIMS current evolution is seen when the discharge current peaked at about 40 μs and then decreased as a result of substantial gas rarefaction [24]. For higher pulse powers, self-sputtering became pronounced and the current was rather stable throughout the remainder of the pulse [25]. In the case of Ti sputtering (Fig. 5), there were relatively small differences between the shapes of the current waveforms at different pulse power densities, although the peak current density was very different. No distinct current peak can be seen for low peak powers in contrast to Ni.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

3.1 ปล่อยรูปคลื่นปัจจุบัน
ปล่อยคลื่นความหนาแน่นปัจจุบันสปัตเตอร์ของ ni ที่ความหนาแน่นกระแสไฟฟ้าชีพจร / ที่แตกต่างกันจะแสดงในมะเดื่อ 4 ในเวลา 300 μs เพิ่มรอบหน้าที่อำนาจชีพจรที่ถูกลดลง อำนาจชีพจรต่ำhipims ทั่วไปวิวัฒนาการในปัจจุบันจะเห็นได้เมื่อปัจจุบันปล่อยแหลมที่ประมาณ 40 μsแล้วลดลงเป็นผลมาจากการเปลี่ยนแปลงก๊าซมาก [24] อำนาจชีพจรสูงขึ้นด้วยตนเองสปัตเตอร์กลายเป็นเด่นชัดและปัจจุบันค่อนข้างคงที่ตลอดเวลาที่เหลือของพัลส์ [25] ในกรณีของทิสปัตเตอร์ (รูปที่ 5)มีความแตกต่างกันเล็ก ๆ ระหว่างรูปทรงของรูปคลื่นปัจจุบันที่ความหนาแน่นพลังงานชีพจรที่แตกต่างกัน แต่มีความหนาแน่นสูงสุดในปัจจุบันแตกต่างกันมาก ไม่มีจุดสูงสุดในปัจจุบันแตกต่างกันสามารถมองเห็นได้อำนาจสูงสุดต่ำในทางตรงกันข้ามกับพรรณี

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

3.1 การถ่าย waveforms ปัจจุบัน
waveforms ปล่อยกระแสความหนาแน่นสำหรับพ่นของ Ni ที่ชีพจรต่าง ๆ ปัจจุบันพลังงานความหนาแน่นจะแสดงใน Fig. 4 สำหรับเวลาของ 300 μs เพิ่มรอบภาษี ถูกลดอำนาจชีพจร สำหรับชีพจรต่ำอำนาจ วิวัฒนาการการปัจจุบัน HiPIMS ทั่วไปจะเห็นได้ เมื่อปล่อยปัจจุบัน peaked ที่ μs ประมาณ 40 แล้ว ลดจาก rarefaction พบแก๊ส [24] สำหรับอำนาจชีพจรสูงขึ้น พ่นเองกลายเป็นการออกเสียง และปัจจุบันมีเสถียรภาพค่อนข้างทั่วส่วนเหลือของชีพจร [25] ในกรณีของตี้พ่น (Fig. 5), มีขนาดค่อนข้างเล็กความแตกต่างระหว่างรูปร่างของ waveforms ปัจจุบันที่ชีพจรต่าง ๆ พลังงานความหนาแน่น แม้ว่าความหนาแน่นของกระแสสูงสุดแตกต่างกันมาก สามารถมองเห็นยอดปัจจุบันไม่แตกต่างกันสำหรับอำนาจสูงสุดต่ำสุดตรงข้าม Ni

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

3.1 . ในปัจจุบันการคายประจุ Triangular wave ความหนาแน่นในปัจจุบันต่อไป
การคายประจุสำหรับละล่ำละลักของนิการากัวที่หนาแน่นพลังงานที่แตกต่างกันในปัจจุบัน/ระดับพร้อมปุ่ม Pulse (ปั่นชั่วขณะ)จะแสดงอยู่ในรูปที่ 4 สำหรับในช่วงเวลาของ 300 μs. การเพิ่มรอบหน้าที่ใช้พลังงานระดับพร้อมปุ่ม Pulse (ปั่นชั่วขณะ)ได้ลดลง สำหรับพลังต่ำระดับพร้อมปุ่ม PulseEvolution ปัจจุบัน hipims ตามแบบอย่างที่มีการพบเห็นเมื่อจ่ายไฟที่ปัจจุบันมีแต่กระดูกที่เกี่ยวกับ 40 μs แล้วลดลงเป็นผลมาจากก๊าซเป็นอย่างมากเปลี่ยนแปลง[ 24 ] สำหรับพลังสูงกว่าระดับพร้อมปุ่ม Pulse ด้วยตนเอง - ละล่ำละลักชัดเจนยิ่งขึ้นและปัจจุบันกลายเป็นอย่างมากตลอดทั่วทั้งพื้นที่ที่เหลือของระดับพร้อมปุ่ม Pulse (ปั่นชั่วขณะ)[ 25 ] ในกรณีที่มีหมากผู้หมากเมียละล่ำละลัก(รูปที่ 5 )มีความแตกต่างกันค่อนข้างเล็กระหว่างรูปร่างของ Triangular wave ปัจจุบันที่หนาแน่นพลังงานระดับพร้อมปุ่ม Pulse (ปั่นชั่วขณะ)แตกต่างกันไปแต่ปัจจุบันความหนาแน่นสูงสุดที่แตกต่างกันเป็นอย่างมาก กระแสสูงสุดที่แตกต่างกันไม่สามารถพบได้สำหรับอำนาจสูงสุดต่ำในทางตรงกันข้ามกับนิการากัว