Analysis of gas at low pressures us

Analysis of gas at low pressures using
mass spectrometry . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .95
4.1 General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .95
4.2 A historical review . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .95
4.3 The quadrupole mass spectrometer (TRANSPECTOR) . . . . . .96
4.3.1 Design of the sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .96
4.3.1.1 The normal (open) ion source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .96
4.3.1.2 The quadrupole separation system . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .97
4.3.1.3 The measurement system (detector) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .98
4.4 Gas admission and pressure adaptation . . . . . . . . . . . . . . . . . .99
4.4.1 Metering valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .99
4.4.2 Pressure converter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .99
4.4.3 Closed ion source (CIS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .99
4.4.4 Aggressive gas monitor (AGM) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .99
4.5 Descriptive values in mass spectrometry (specifications) . . . .101
4.5.1 Line width (resolution) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .101
4.5.2 Mass range . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .101
4.5.3 Sensitivity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .101
4.5.4 Smallest detectable partial pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .101
4.5.5 Smallest detectable partial pressure ratio (concentration) . . . .101
4.5.6 Linearity range . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .102
4.5.7 Information on surfaces and amenability to bake-out . . . . . . .102
4.6 Evaluating spectra . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .102
4.6.1 Ionization and fundamental problems in gas analysis . . . . . . .102
4.6.2 Partial pressure measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .106
4.6.3 Qualitative gas analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .106
4.6.4 Quantitative gas analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .107
4.7 Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .108
4.7.1 Standard SQX software (DOS) for stand-alone operation
(1 MS plus, 1 PC, RS 232) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .108
4.7.2 Multiplex/DOS software MQX
(1 to 8 MS plus 1 PC, RS 485) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .108
4.7.3 Process-oriented software –
Transpector-Ware for Windows . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .108
4.7.4 Development software TranspectorView . . . . . . . . . . . . . . . . .109
4.8 Partial pressure regulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .109
4.9 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .109
5 Leaks and their detection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .110
5.1 Types of leaks . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .110
5.2 Leak rate, leak size, mass flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .110
5.2.1 The standard helium leak rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .112
5.2.2 Conversion equations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .112
5.3 Terms and definitions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .112
5.4 Leak detection methods without a leak detector unit . . . . . . . .113
5.4.1 Pressure rise test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .113
5.4.2 Pressure drop test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .114
5.4.3 Leak test using vacuum gauges which are sensitive
to the type of gas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .114
5.4.4 Bubble immersion test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .115
5.4.5 Foam-spray test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .115
5.4.6 Vacuum box check bubble . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .115
5.4.7 Krypton 85 test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .115
5.4.8 High-frequency vacuum test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .115
5.4.9 Testing with chemical reactions and dye penetration . . . . . . .115
5.5 Leak detectors and how they work . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .116

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

วิเคราะห์ก๊าซที่ความดันต่ำโดยใช้mass spectrometry . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 954.1 General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 954.2 การทบทวนประวัติศาสตร์................................... 954.3 การ quadrupole โดยรวมสเปกโตรมิเตอร์ (TRANSPECTOR)...... 964.3.1 การออกแบบของเซ็นเซอร์................................. 964.3.1.1 ไอออน (เปิด) ปกติต้น.......................... 964.3.1.2 quadrupole แยกระบบ...................... 974.3.1.3 ประเมินระบบ (จับ)..................... 984.4 แก๊สปรับความดันและการเข้า.................. 994.4.1 Metering valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 994.4.2 ความดันแปลง................................... 994.4.3 ไอออนที่ปิดต้นฉบับ (CIS)............................... 994.4.4 ก้าวร้าวแก๊สตรวจสอบ (AGM)......................... 994.5 ค่าอธิบายในโตรเมทรี (รายละเอียด) ... 1014.5.1 เส้นความกว้าง (ความละเอียด)............................... 1014.5.2 Mass range . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1014.5.3 Sensitivity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1014.5.4 เล็กสุดอาสาบางส่วนความดัน.................... 1014.5.5 เล็กสุดอาสาบางส่วนความดัน (เข้มข้น) ... 1014.5.6 Linearity range . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1024.5.7 ข้อมูลเกี่ยวกับพื้นผิวและ amenability ไปอบออก....... 1024.6 ประเมิน..................................แรมสเป็คตรา 1024.6.1 ionization และปัญหาพื้นฐานในการวิเคราะห์แก๊ส....... 1024.6.2 วัดค่าความดันบางส่วน......................... 1064.6.3 การวิเคราะห์เชิงคุณภาพแก๊ส............................. .1064.6.4 การวิเคราะห์เชิงปริมาณแก๊ส............................. 1074.7 Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1084.7.1 SQX ซอฟต์แวร์มาตรฐาน (DOS) ในการดำเนินงานแบบสแตนด์อโลน(1 MS plus, 1 PC, RS 232) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1084.7.2 ล็ก/DOS ซอฟต์แวร์ MQX(1-8 MS บวก 1 PC, RS 485)........................ 1084.7.3 การเน้นซอฟต์แวร์-Transpector-แวร์สำหรับ Windows........................ 1084.7.4 พัฒนาซอฟต์แวร์ TranspectorView แมก 1094.8 ควบคุมความดันบางส่วน............................ 1094.9 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1095 การรั่วไหลและตรวจพบของ........................... 1105.1 Types of leaks . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1105.2 อัตราที่รั่วไหล การรั่วไหลขนาด มวลกระแส........................ 1105.2.1 มาตรฐานฮีเลียมรั่วอัตรา......................... 1125.2.2 สมการแปลง................................ 112ข้อ 5.3 และข้อกำหนดของ................................ 1125.4 รั่วไหลวิธีตรวจ โดยเครื่องตรวจจับหน่วยรั่วไหล........ 1135.4.1 ความดันเพิ่มขึ้นทดสอบ................................... 1135.4.2 ดันหล่นทดสอบ.................................. 1145.4.3 การรั่วไหลโดยใช้มาตรวัดสุญญากาศที่มีความไวต่อการทดสอบto the type of gas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1145.4.4 ฟองแช่ทดสอบ............................... 1155.4.5 Foam-spray test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1155.4.6 สูญญากาศกล่องกาเครื่องหมายฟอง............................ 1155.4.7 Krypton 85 test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1155.4.8 ความถี่สูงสิวทดสอบ.......................... 1155.4.9 ทดสอบปฏิกิริยาเคมีและสีย้อมเจาะ....... 1155.5 รั่วไหลจับและวิธีการทำงาน..................... 116

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การวิเคราะห์ของก๊าซที่ความดันต่ำโดยใช้
มวลสาร . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.95
4.1 ทั่วไป . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.95
4.2 ทบทวนประวัติศาสตร์ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.95
4.3 สเปกโตรมิเตอร์มวล quadrupole (TRANSPECTOR) . . . . 0.96
4.3.1 การออกแบบของเซ็นเซอร์ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.96
4.3.1.1 ปกติ (เปิด) แหล่งกำเนิดไอออน . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.96
4.3.1.2 ระบบแยก quadrupole . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.97
4.3.1.3 ระบบการวัด (เครื่องตรวจจับ) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.98
4.4 การรับเข้าก๊าซธรรมชาติและการปรับความดัน . . . . . . . . . . . . . . . . 0.99
4.4.1 วาล์ววัดแสง . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.99
4.4.2 การแปลงความดัน . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.99
4.4.3 แหล่งกำเนิดไอออนปิด (CIS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.99
4.4.4 การตรวจสอบก๊าซก้าวร้าว (AGM) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.99
4.5 ค่าพรรณนาในมวลสาร (รายละเอียด) . . .101
4.5.1 ความกว้างของเส้น (ความละเอียด) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.101
4.5.2 ช่วงมวล . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .101
4.5.3 ความไวแสง . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.101
4.5.4 การตรวจพบความดันบางส่วนที่เล็กที่สุด . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.101
4.5.5 อัตราการตรวจพบความดันบางส่วนที่เล็กที่สุด (ความเข้มข้น) . . 0.101
4.5.6 เส้นตรงช่วง . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.102
4.5.7 ข้อมูลบนพื้นผิวและการรับผิดชอบในการอบออก . . . . . .102
4.6 สเปกตรัมการประเมิน . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.102
4.6.1 ไอออนไนซ์และปัญหาพื้นฐานในการวิเคราะห์ก๊าซ . . . . . 0.102
4.6.2 การวัดความดันบางส่วน . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.106
4.6.3 การวิเคราะห์เชิงคุณภาพก๊าซ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.106
4.6.4 การวิเคราะห์เชิงปริมาณก๊าซ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .107
4.7 ซอฟแวร์ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.108
4.7.1 มาตรฐาน sqx ซอฟแวร์ (DOS) สำหรับการดำเนินงานแบบสแตนด์อะโลน
(1 MS บวก 1 PC, อาร์เอส 232) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.108
4.7.2 Multiplex / ซอฟแวร์ดอส MQX
(1-8 MS บวก 1 PC, อาร์เอส 485) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.108
4.7.3 ซอฟแวร์ที่มุ่งเน้นกระบวนการ -
Transpector แวสำหรับ Windows . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.108
4.7.4 การพัฒนาซอฟแวร์ TranspectorView . . . . . . . . . . . . . . . .109
4.8 ควบคุมความดันบางส่วน . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .109
4.9 การบำรุงรักษา . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .109
5 การรั่วไหลและการตรวจสอบของพวกเขา . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .110
5.1 ประเภทของการรั่วไหล . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .110
5.2 อัตราการรั่วไหลขนาดรั่วไหล . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.110
5.2.1 อัตราการรั่วไหลของก๊าซฮีเลียมมาตรฐาน . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.112
5.2.2 สมการแปลง . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .112
5.3 ข้อตกลงและคำจำกัดความ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .112
5.4 วิธีการตรวจสอบการรั่วไหลโดยไม่ต้องมีเครื่องตรวจจับการรั่วไหลของหน่วย . . . . . . .113
5.4.1 ความดันที่เพิ่มขึ้นทดสอบ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .113
5.4.2 ความดันลดลงทดสอบ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.114
5.4.3 การทดสอบการรั่วไหลโดยใช้มาตรวัดสูญญากาศที่มีความสำคัญ
กับชนิดของก๊าซ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.114
5.4.4 การทดสอบฟองแช่ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.115
5.4.5 การทดสอบโฟมสเปรย์ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.115
5.4.6 กล่องสูญญากาศฟองตรวจสอบ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.115
5.4.7 คริปทอน 85 การทดสอบ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.115
5.4.8 ความถี่สูงทดสอบสูญญากาศ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.115
5.4.9 การทดสอบกับปฏิกิริยาทางเคมีและการเจาะย้อม . . . . . .115
5.5 เครื่องตรวจจับการรั่วไหลและวิธีการทำงาน . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.116

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การวิเคราะห์ก๊าซแรงดันต่ำโดยใช้
แมสสเปกโทรเมตรี . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95
4.1 ทั่วไป . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95
4.2 การทบทวนประวัติศาสตร์ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95
4.3 คำแมสสเปกโตรมิเตอร์ ( transpector ) . . . . . . . . . . . . . . 96
4.3 .1 การออกแบบเครื่องตรวจจับ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96
4.3.1.1 ปกติ ( เปิด ) แหล่งกำเนิดไอออน . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96
4.3.1.2 คำที่แยกระบบ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97
4.3.1.3 การวัดระบบ ( เครื่อง ) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98
4.4 แก๊สเข้าและปรับความดัน. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
4.4.1 ซ่อมวาล์ว . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
4.4.2 ดันแปลง . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
4.4.3 ปิดแหล่งกำเนิดไอออน ( CIS ) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
4.4.4 ก้าวร้าวก๊าซตรวจสอบ ( 4 ) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. . . . . . . . . . . . . . . . 99
4.5 อธิบายค่าในมวลสาร ( รายละเอียด ) . . . . . . . . 101
4.5.1 ความกว้างเส้น ( ความละเอียด ) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101
การช่วงมวล . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101
4.5.3 ไว . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101
4.5 .4 ตรวจความดันย่อยที่เล็กที่สุด . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101
4.5.5 เล็กได้สัดส่วนความดันย่อย ( สมาธิ ) . . . . . . . ช่วงความถี่ 101
4.5.6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
4.5.7 ข้อมูลบนพื้นผิวและ amenability อบออกมา . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
4.6 การประเมินโดย . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
ต่ำไอออไนเซชันและปัญหาพื้นฐานในการวิเคราะห์ก๊าซ . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
4.6.2 ความดันย่อยของการวัด . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106
4.6.3 เชิงคุณภาพการวิเคราะห์แก๊ส . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106
4.6.4 ปริมาณแก๊สวิเคราะห์ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
4.7 ซอฟต์แวร์ . . . . . . . .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108
4.7.1 มาตรฐาน sqx ซอฟต์แวร์ ( DOS )
ปฏิบัติการแบบสแตนด์อโลน ( 1 นางสาว พลัส , 1 PC , RS 232 ) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108
4.7.2 เพล็กซ์ / DOS
mqx ซอฟต์แวร์ ( 1 ถึง 8 นางสาว พลัส 1 , RS 485 ) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
-
4.7.3 108 ซอฟต์แวร์เชิงกระบวนการtranspector แวร์สำหรับ Windows . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108
4.7.4 การพัฒนาซอฟต์แวร์ transpectorview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
4.8 ความดันย่อยของระเบียบ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
4.9 การบํารุงรักษา . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
5 การรั่วไหลและการตรวจสอบของพวกเขา . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
5.1 ประเภทของการรั่วไหล . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
5.2 , อัตรา , ขนาด , การไหลของมวล . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
5.2.1 มาตรฐานฮีเลียมรั่วในอัตรา . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112
5.2.2 การแปลงสมการ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .เรื่อง 112
5.3 และคำจำกัดความ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112
5.4 วิธีตรวจจับการรั่วไหลโดยไม่รั่วหน่วย . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 113
5.4.1 ความดันขึ้นทดสอบ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0
5.4.2 ความดันทดสอบ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 114
5.4 .