2.5. Frequency measurements and IR

2.5. Frequency measurements and IR spectroscopy
The sensor chip was mounted in an aluminium vacuum chamber providing electrical connection, a glass window for optical readout and a zinc selenide window for IR irradiation (Fig. 3 (2)). The resonators were actuated with an external piezoelectric element and read out with a laser-Doppler vibrometer (MSA-500, Polytec GmbH) mounted with a 632.8 nm helium neon readout laser. The nanomechanicalresonance frequency was monitored by means of a phase-locked loop (HF2LI-PLL, Zurich Instruments). For NAM-IR measurements, monochromatic IR light was produced by a tunable quantum cascade laser (QCL). The IR reference spectrum was recorded with an ATR-FTIR spectrometer (Spectrum 100, Perkin-Elmer).

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

2.5 การวัดความถี่และสเปกโทรสโก IRชิพในเซ็นเซอร์ถูกติดตั้งในห้องสุญญากาศอะลูมิเนียมให้เชื่อมต่อไฟฟ้า หน้าต่างแก้วสำหรับอ่านค่าแสง และหน้าต่าง selenide สังกะสีสำหรับฉายรังสี IR (รูป 3 (2)) เวลาการกระตุ้นกับองค์ประกอบภายนอก piezoelectric และอ่าน ด้วยเครื่อง Doppler เลเซอร์เครื่องวัดแรงสั่นสะเทือน (MSA-500, Polytec GmbH) ติดกับ 632.8 nm ฮีเลียมนีออนเลเซอร์อ่าน ความถี่ nanomechanicalresonance ถูกตรวจสอบโดยใช้วิธีวนเฟสล็อก (HF2LI PLL เครื่องซูริก) วัดน้ำ-IR, IR แสงสีเดียวถูกผลิต โดยเทคโนโลยีควอนตัมเลเซอร์เรียงซ้อน (QCL) มีบันทึกสเปกตรัมเรท IR ด้วยสเปกโตรมิเตอร์เอทีอาร์-FTIR (สเปกตรัม 100 เพอร์เอลเมอ)

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

2.5 การวัดความถี่และ IR สเปกโทรสโก
ชิปเซ็นเซอร์ได้รับการติดตั้งในห้องสูญญากาศอลูมิเนียมให้การเชื่อมต่อไฟฟ้า, หน้าต่างกระจกสำหรับมิเตอร์ที่อ่านได้แสงและหน้าต่าง selenide สังกะสีสำหรับการฉายรังสี IR (รูปที่. 3 (2)) resonators ถูกกระตุ้นด้วยองค์ประกอบ piezoelectric ภายนอกและอ่านออกด้วยเลเซอร์ Doppler Vibrometer (MSA-500 Polytec GmbH) ติดกับ 632.8 นาโนเมตรฮีเลียมนีออนเลเซอร์มิเตอร์ที่อ่านได้ ความถี่ nanomechanicalresonance คือการตรวจสอบโดยวิธีการของเฟสล็อกลูป (HF2LI-PLL, ซูริก Instruments) สำหรับการตรวจวัด NAM-IR แสง IR เดียวได้รับการผลิตโดยพริ้งเลเซอร์น้ำตกควอนตัม (QCL) สเปกตรัมอ้างอิง IR ถูกบันทึกด้วยสเปกโตรมิเตอร์ ATR-FTIR (Spectrum 100, เพอร์กินเอลเมอ)

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

2.5 การวัดความถี่และอินฟราเรดสเปกโทรสโกปีเซ็นเซอร์ชิปที่ติดตั้งในอลูมิเนียมสูญญากาศให้การเชื่อมต่อไฟฟ้า , กระจกหน้าต่างสำหรับแสงและซิงค์ซีลีไนด์บนหน้าต่างสำหรับการฉายรังสี IR ( รูปที่ 3 ( 2 ) ที่ถูกกระตุ้นด้วยองค์ประกอบ piezoelectric resonators ภายนอกและอ่านออกด้วยเลเซอร์ดอปเปลอร์ vibrometer ( msa-500 polytec GmbH , ติดกับ 632.8 nm ฮีเลียมนีออน เลเซอร์ บน . nanomechanicalresonance ความถี่ที่ถูกตรวจสอบ โดยการล็อคลูป ( hf2li-pll ซูริคเครื่องมือ ) สำหรับการวัด nam-ir แสง IR สําหรับผลิตโดยเลเซอร์ควอนตั้มน้ำตกพริ้ง ( qcl ) อินฟราเรดสเปกตรัมอ้างอิงบันทึกด้วยกล้อง ( สเปกตรัม ATR-FTIR 100 , เพอร์กินเอลเมอร์ )