In this work, we focus on the study

In this work, we focus on the study of tiny plastic packaging with a central opening. Employing a
patterned ultra-thick photoresist to pack the MEMS-based pressure sensors, two packaging approaches,
sacrifice-replacement and dam-ring, were used. These packaged pressure sensors are fully compliant
with the SMD and compatible with batch manufacturing processes. To verify the proposed packaging
schemes, a FE model and experimental measurement are used to explore the characteristics of the
packaged and unpackaged pressure sensors. The packaging effect and characterization of the packaged
pressure sensors for both packaging approaches are conducted and then compared with the
performance. The proposed packaging of piezoresistive pressure sensor using a patterned ultra-thick
photoresist may be an adequate solution for use in other open-cavity sensors, such as gas sensors,
image sensors, and humidity sensors.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ในงานนี้ เราเน้นที่การศึกษาของบรรจุภัณฑ์พลาสติกเล็ก ๆ ด้วยการเปิดเซ็นทรัล จ้างมีลวดลายหนาเป็นพิเศษเพียงแพ็ค MEMS-ความดันเซ็นเซอร์ บรรจุภัณฑ์นารีใช้แทนที่เสียสละและเขื่อนแหวน เซ็นเซอร์ความดันบรรจุเหล่านี้ที่ได้ฝ่าฝืนSMD และเข้ากันได้กับชุดงานกระบวนการผลิต การตรวจสอบบรรจุภัณฑ์ที่นำเสนอแบบแผน รุ่น FE และทดลองวัดใช้ในการสำรวจลักษณะของการเซนเซอร์ความดันบรรจุ และผนึก ผลของบรรจุภัณฑ์และสมบัติของที่บรรจุเซนเซอร์ความดันสำหรับบรรจุภัณฑ์วิธีทั้งสองจะดำเนินการ และเปรียบเทียบกับการการทำงาน บรรจุภัณฑ์ piezoresistive เซ็นเซอร์ความดันที่ใช้ลวดลายที่เสนอหนาเป็นพิเศษเพียงอาจเป็นทางออกเพียงพอสำหรับใช้ในเซนเซอร์เปิดช่องอื่น ๆ เช่นก๊าซเซนเซอร์เซนเซอร์ภาพ และเซนเซอร์ความชื้น

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในงานนี้เรามุ่งเน้นไปที่การศึกษาของบรรจุภัณฑ์พลาสติกเล็ก ๆ ด้วยการเปิดกลาง พนักงาน
ที่มีลวดลายไวแสงอัลตร้าหนาเพื่อแพ็ค MEMS-based เซ็นเซอร์ความดันสองวิธีบรรจุภัณฑ์
เสียสละทดแทนและเขื่อนแหวนถูกนำมาใช้ เซนเซอร์ความดันบรรจุเหล่านี้เป็นอย่างสอดคล้อง
กับ SMD และเข้ากันได้กับกระบวนการผลิตชุด การตรวจสอบการบรรจุภัณฑ์ที่นำเสนอ
รูปแบบเป็นรุ่น fe และการวัดการทดลองที่ใช้ในการสำรวจลักษณะของ
บรรจุและห่อหุ้มเซนเซอร์ความดัน ผลการบรรจุภัณฑ์และลักษณะของบรรจุ
เซนเซอร์ความดันสำหรับทั้งวิธีการบรรจุภัณฑ์ที่จะดำเนินการแล้วเมื่อเทียบกับ
ผลการดำเนินงาน บรรจุภัณฑ์ที่นำเสนอของเซ็นเซอร์ความดัน piezoresistive ใช้ลวดลายพิเศษหนา
ไวแสงอาจจะแก้ปัญหาที่เพียงพอสำหรับใช้ในการเซ็นเซอร์เปิดช่องอื่น ๆ เช่นก๊าซเซ็นเซอร์,
เซ็นเซอร์ภาพและเซ็นเซอร์ความชื้น