A flexible polysilicon strain gauge

A flexible polysilicon strain gauge array has been designed and fabricated using surface-micromachining with a SiO2 sacrificial layer. The realized sensor array is mechanically flexible, which can be attached on a non-planar surface. To realize the flexible polysilicon strain gauge array, a new packaging scheme using polysilicon/oxide-based surface-micromachining was developed. The proposed packaging scheme completes the strain sensor and the circuit board on a single process, which eliminates additional assembly and alignment problems. The measured gauge factor shows that it is more sensitive than conventional metal strain gauges. Unlike a single-crystal silicon strain gauge, a crystal direction does not affect its sensitivity in a polysilicon sensor, and this isotropic property makes the realization of an omni-directional strain gauge array possible. The proposed flexible strain sensor array can be used in a measurement of stress distribution of an arbitrary and non-planar surface.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เป็นอาร์เรย์ของสเตรนเกจ polysilicon ยืดหยุ่นได้รับการออกแบบ และประดิษฐ์โดยใช้ micromachining ผิว ด้วยชั้น SiO2 เสียสละ เรย์เซนรับรู้เป็นกลไกยืดหยุ่น ซึ่งสามารถติดบนพื้นผิวเป็นระนาบ แบบบรรจุภัณฑ์ใหม่ที่ใช้ polysilicon/ออกไซด์ ตามผิว-micromachining ถูกพัฒนาขึ้นเพื่ออาร์เรย์สเตรนเกจ polysilicon ยืดหยุ่น แบบบรรจุภัณฑ์เสนอเสร็จสมบูรณ์วงจรบนกระบวนการเดียว ซึ่งช่วยลดปัญหาการจัดตำแหน่งและแอสเซมบลีที่เพิ่มเติมและเซ็นเซอร์สายพันธุ์ ตัวเกจวัดแสดงว่า มีความไวกว่าเกจวัดเกลียวโลหะทั่วไป ไม่เหมือนกับแบบผลึกเดี่ยวซิลิคอนสเตรนเกจ ทิศทางที่ไม่มีผลของความไวในการเซ็นเซอร์ polysilicon และพักนี้ isotropic ทำให้สำนึกของอาร์เรย์ทิศสเตรนเกจได้ เรย์เซนเสนอสายพันธุ์ที่มีความยืดหยุ่นสามารถใช้ในการวัดการกระจายความเครียดของพื้นผิวกำหนด และไม่ใช่ระนาบ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

โพลีซิลิคอนที่มีความยืดหยุ่นวัดความเครียดอาร์เรย์ได้รับการออกแบบและประดิษฐ์โดยใช้พื้นผิวไมโครด้วยชั้นบูชายัญ SiO2 อาร์เรย์เซ็นเซอร์ตระหนักมีความยืดหยุ่นกลไกซึ่งสามารถติดบนพื้นผิวที่ไ​​ม่ใช่ระนาบ ตระหนักถึงความเครียดโพลีซิลิคอนอาร์เรย์วัดความยืดหยุ่นรูปแบบบรรจุภัณฑ์ใหม่โดยใช้โพลีซิลิคอน / ออกไซด์ตามพื้นผิวไมโครได้รับการพัฒนา โครงการบรรจุภัณฑ์ที่นำเสนอเสร็จสิ้นการเซ็นเซอร์ความเครียดและแผงวงจรที่อยู่ในขั้นตอนเดียวซึ่งจะช่วยลดการชุมนุมและการจัดตำแหน่งปัญหาเพิ่มขึ้นอีก ปัจจัยที่วัดวัดแสดงให้เห็นว่ามันเป็นสิ่งที่มีความสำคัญมากขึ้นกว่าโลหะธรรมดาเตรนเกจ ซึ่งแตกต่างจากผลึกเดี่ยวซิลิคอนวัดความเครียดทิศทางคริสตัลไม่ได้ส่งผลกระทบต่อความไวในการเซ็นเซอร์โพลีซิลิคอนและคุณสมบัติ isotropic นี้ทำให้สำนึกของอาร์เรย์รอบทิศทางวัดความเครียดที่เป็นไปได้ เสนอสายพันธุ์ที่มีความยืดหยุ่นอาร์เรย์เซ็นเซอร์สามารถนำมาใช้ในการวัดการกระจายความเครียดของผิวโดยพลการและไม่ระนาบ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

แบบวัดความเครียดเรย์ polysilicon ยืดหยุ่นได้ออกแบบและประดิษฐ์โดยใช้พื้นผิว micromachining กับ SiO2 a ชั้น ตระหนักถึงเซนเซอร์มีกลไกซึ่งสามารถติดอยู่บนระนาบพื้นผิว ตระหนักถึง Polysilicon ความยืดหยุ่นวัดความเครียดเรย์ใหม่ , บรรจุภัณฑ์แบบใช้ Polysilicon ออกไซด์ / micromachining พื้นผิวโดยได้รับ การนำเสนอบรรจุภัณฑ์โครงการเสร็จเมื่อยเซนเซอร์และแผงวงจรในกระบวนการเดียวซึ่งช่วยลดปัญหาการชุมนุมเพิ่มเติม และแนว วัดวัดปัจจัยแสดงให้เห็นว่ามันเป็นเรื่องละเอียดอ่อนมากกว่าโลหะทั่วไปความเครียดมาตรวัด . ซึ่งแตกต่างจากซิลิกอนผลึกเดี่ยววัดความเครียด , คริสตัล ทิศทางไม่มีผลต่อความไวใน Polysilicon เซ็นเซอร์และคุณสมบัติตัวนี้ ทำให้การรับรู้ของรอบทิศทางแบบวัดความเครียดเป็นไปได้ เสนอความยืดหยุ่นความเครียดเซนเซอร์ที่สามารถใช้ในการวัดการกระจายความเค้นของเผด็จการและไม่พื้นผิวระนาบ .