M/C paper chemical sensor was fabri

M/C paper chemical sensor was fabricated by fabricating gold electrode on the M/C paper. The electrode was inter-digital transducer (IDT) pattern that has comb length of 2.49mm and comb
width of 26m. Conventional photolithography and lift-off technique were used for the electrode fabrication. Photoresist (PR) (S2010, Microchem) was deposited on the M/C paper by spincoating
at 3000rpm and exposed by UV system (Karl Süss,i-line) with a photomask for 12 s. After baking process, the paper was developed and rinsed with IPA. Finally, 100nm thick gold layer was deposited on the paper using the thermal evaporating system, and remnant PR pattern was removed from the paper. Fig. 1 shows the IDT shaped electrode pattern on the M/C paper.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

M/C กระดาษเคมีเซ็นเซอร์ถูกประดิษฐ์ โดยผลิตอิเล็กโทรดทองบนกระดาษ M/C อิเล็กโทรดเป็นรูปแบบดิจิตอลระหว่างพิกัด (IDT) ที่มีหวียาว 2.49 mm และหวีกว้าง 26 ม. photolithography และยกลากจูงเทคนิคทั่วไปถูกใช้สำหรับการผลิตไฟฟ้า บน M/C กระดาษฝากเพียง (PR) (S2010, Microchem) โดย spincoatingที่ 3000 rpm และสัมผัส โดยระบบ UV (Karl Süss, i-บรรทัด) กับ photomask 12 s หลังจากขั้นตอนการอบ กระดาษถูกพัฒนา และล้าง ด้วย IPA สุดท้าย ฝาก 100nm หนาชั้นทองบนกระดาษโดยใช้ระบบระเหยความร้อน และรูปแบบประชาสัมพันธ์ส่วนที่เหลือถูกเอาออกจากกระดาษ รูปที่ 1 แสดง IDT อิเล็กโทรดที่มีรูปทรงลวดลายบนกระดาษ M/C

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

M / C เซ็นเซอร์เคมีกระดาษประดิษฐ์โดยผลิตอิเล็กโทรดทองบนกระดาษ M / C ขั้วไฟฟ้าเป็นตัวแปลงสัญญาณระหว่างดิจิตอล (IDT) รูปแบบที่มีความยาวหวีหวี 2.49mm และ
ความกว้างของ 26 เมตร photolithography ธรรมดาและเทคนิคการยกออกถูกนำมาใช้สำหรับการผลิตไฟฟ้า ไวแสง (PR) (S2010, Microchem) ถูกวางลงบนกระดาษ M / C โดย spincoating
ที่ 3000rpm และสัมผัสโดยระบบ UV (คาร์ลSüss i-บรรทัด) ด้วยโฟโต้ 12 วินาที หลังจากขั้นตอนการอบกระดาษที่ได้รับการพัฒนาและล้างด้วย IPA สุดท้าย 100nm ชั้นทองหนาถูกวางบนกระดาษโดยใช้ระบบการระเหยความร้อนและรูปแบบการประชาสัมพันธ์ที่เหลือถูกลบออกจากกระดาษ มะเดื่อ. 1 แสดงราชกิจจานุเบกษารูปแบบอิเล็กโทรดรูปบนกระดาษ M / C

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

M / C เซ็นเซอร์เคมีกระดาษถูกประดิษฐ์โดย fabricating ขั้วไฟฟ้าทองบน M / C กระดาษ ขั้วคืออินเตอร์ดิจิตอลทรานสดิวเซอร์ ( ไอดีที ) รูปแบบที่มีความยาวของ 2.49mm และหวีหวีความกว้างของ 26m . 43 ธรรมดาและยกออกเทคนิคที่ใช้ไฟฟ้าผลิต โฟโตรีซีส ( PR ) ( s2010 microchem , ) ฝากบน M / C spincoating กระดาษโดยที่ 3000rpm และสัมผัสด้วยระบบ UV ( คาร์ล S ü SS I - line ) กับโฟโต้มาสค์ 12 . หลังจากการอบ กระดาษที่ถูกพัฒนาขึ้นและล้างด้วยท่าน . ในที่สุด 100nm ชั้นหนาทองถูกโยนลงบนกระดาษโดยใช้ความร้อนระเหยระบบและแบบแผน PR ที่เหลือจะถูกลบออกจากกระดาษ รูปที่ 1 แสดงไอดีทีรูปขั้วบน M / C รูปแบบกระดาษ