IntroductionMicro forming is consid

Introduction
Micro forming is considered to be a promising process to fabricate
metallic micro parts for micro electro mechanical system,
microelectronic technology, and precision machinery due to its
high efficiency, low cost, low duration, and less pollution [1,2].
Micro deep drawing, which is a fundamental process of micro forming,
has potential application in forming hollow, thin walled, cup
or box like micro parts. If integrated with other micro forming processes,
many kinds of micro parts can be produced [3]. Thus, the
investigation of micro deep drawing is more comprehensive than
other forming methods and becomes a research focus in micro
forming [4].
Erhardt et al. [5] applied a local laser heating method to improve
the formability of the drawing blank in micro deep drawing. Saotome
et al. [6] investigated the influences of punch diameter to
sheet thickness on micro deep drawing by using a special apparatus.
Vollertsen et al. [7] studied micro deep drawing according
to similarity theory with different materials and found that friction
coefficient in microforming was much higher than that in
∗ Corresponding author. Tel.: [phone]; fax: [phone].
E-mail address: [e-mail] (F. Gong).
macroforming. Justinger et al. [8] formed 1 mm micro cup with
CuZn37 and revealed that the cup geometry was influenced by
microstructure. Manabe et al. [9] developed a sequential blanking
and drawing setup, and fabricated a micro cup of only 0.5 mm in
diameter using SUS304 ultra-thin foil. Chen et al. [10] reported that
thickness, grain size and number of grains throughout thickness
greatly influenced the LDR in micro deep drawing. Shimizu et al.
[11] reported that the tool surface greatly affected the formability
and accuracy of the micro parts in micro deep drawing. Behrens
et al. [12] formed a micro cup of 0.75 mm inner diameter and studied
the forming limit by using magnetron sputtered Al-Zr foils. Fu
et al. [13] investigated the size effects in micro blanking and deep
drawing process by experiments and simulation. Gau et al. [14]
studied micro deep drawing with two ironing stages and successfully
formed a micro cup of 3.039 mm in height and 2.218 mm in
outer diameter using SUS304 with grain size of 45 m, which was
annealed at 1050 ◦C.
Compared with macro deep drawing, micro deep drawing is
more difficult because the material property, lubrication conditions
and BHF change with the miniaturization of the specimen size [15].
Lubrication conditions and BHF, which are two key factors affecting
the whole process of deep drawing, including drawing force, DR,
surface quality, tool life and others, should be sy

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

บทนำไมโครขึ้นรูปจะถือเป็นกระบวนการที่มีแนวโน้มในการประดิษฐ์ชิ้นส่วนโลหะสำหรับไมโครไมโครระบบกลไกไฟฟ้า, เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์และเครื่องจักรที่มีความแม่นยำเนื่องจากการที่มีประสิทธิภาพสูงต้นทุนต่ำระยะเวลาต่ำและมลพิษน้อย [1,2]. ไมโครลึก การวาดภาพซึ่งเป็นกระบวนการพื้นฐานของไมโครขึ้นรูปมีโปรแกรมที่มีศักยภาพในการสร้างกลวงผนังบางถ้วยหรือกล่องเช่นชิ้นส่วนขนาดเล็ก หากรวมกับกระบวนการขึ้นรูปขนาดเล็กอื่น ๆหลายชนิดของชิ้นส่วนขนาดเล็กสามารถผลิตได้ [3] ดังนั้นการตรวจสอบข้อเท็จจริงของการวาดภาพลึกขนาดเล็กเป็นที่ครอบคลุมมากขึ้นกว่าวิธีการขึ้นรูปอื่นๆ และกลายเป็นมุ่งเน้นการวิจัยในไมโครสร้าง[4]. Erhardt et al, [5] ใช้วิธีการให้ความร้อนเลเซอร์ท้องถิ่นในการปรับปรุงการขึ้นรูปของการวาดภาพว่างเปล่าในไมโครรูปลึก Saotome et al, [6] การตรวจสอบอิทธิพลของเส้นผ่านศูนย์กลางหมัดกับความหนาของแผ่นในรูปลึกขนาดเล็กโดยใช้อุปกรณ์พิเศษ. Vollertsen et al, [7] การศึกษาการวาดภาพลึกขนาดเล็กตามทฤษฎีความคล้ายคลึงกันด้วยวัสดุที่แตกต่างกันและพบว่าแรงเสียดทานที่มีค่าสัมประสิทธิ์ในmicroforming สูงกว่ามากในการเขียนที่สอดคล้องกัน* Tel .: [phone]; แฟ็กซ์: 86 755 26557471. อีเมล์:. [e-mail] (เอฟง) macroforming Justinger et al, [8] ที่เกิดขึ้น 1 มมถ้วยขนาดเล็กที่มีCuZn37 และเผยให้เห็นว่ารูปทรงเรขาคณิตถ้วยได้รับอิทธิพลจากจุลภาค Manabe et al, [9] การพัฒนา blanking ลำดับและการตั้งค่าการวาดภาพและประดิษฐ์ถ้วยขนาดเล็กเพียง0.5 มิลลิเมตรเส้นผ่าศูนย์กลางใช้SUS304 ฟอยล์บางเฉียบ เฉินและอัล [10] รายงานว่าความหนาขนาดของเมล็ดข้าวและจำนวนธัญพืชทั่วหนามีอิทธิพลอย่างมากในLDR ไมโครวาดภาพลึก Shimizu et al. [11] รายงานว่าพื้นผิวเครื่องมือมากขึ้นรูปได้รับผลกระทบและความถูกต้องของชิ้นส่วนขนาดเล็กขนาดเล็กในรูปลึก Behrens et al, [12] กลายเป็นถ้วยขนาดเล็ก 0.75 มิลลิเมตรเส้นผ่าศูนย์กลางภายในและการศึกษาขีดจำกัด การขึ้นรูปโดยใช้แมก sputtered ฟอยล์ Al-Zr Fu et al, [13] การตรวจสอบผลกระทบใน blanking ขนาดเล็กและลึกขั้นตอนการวาดภาพโดยการทดลองและการจำลอง Gau et al, [14] การศึกษาไมโครวาดภาพลึกกับสองขั้นตอนรีดผ้าและประสบความสำเร็จกลายเป็นถ้วยของไมโคร 3.039 มิลลิเมตรและความสูง 2.218 มมเส้นผ่านศูนย์กลางภายนอกใช้SUS304 ที่มีขนาดเม็ด 45 เมตรซึ่งได้รับการอบที่1050 ◦C. เมื่อเทียบกับการวาดภาพลึกแมโคร วาดลึกขนาดเล็กเป็นเรื่องยากมากขึ้นเพราะคุณสมบัติของวัสดุเงื่อนไขการหล่อลื่นและการเปลี่ยนแปลงBHF กับ miniaturization ขนาดตัวอย่างที่ [15]. สภาพการหล่อลื่นและ BHF ซึ่งเป็นสองปัจจัยสำคัญที่ส่งผลกระทบต่อกระบวนการทั้งหมดของการวาดภาพลึกรวมทั้งมีผลบังคับใช้การวาดภาพDR, คุณภาพผิว, อายุการใช้งานและคนอื่น ๆ ควรจะ SY

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

บทนำ
สร้างไมโครถือเป็นกระบวนการที่สัญญาว่าจะปั้น
ส่วนไมโครโลหะสำหรับระบบเครื่องกลไฟฟ้าจุลภาค
เทคโนโลยี microelectronic และความแม่นยำเครื่องจักรเนื่องจาก
ประสิทธิภาพสูง , ต่ำค่าใช้จ่ายต่ำ , ระยะเวลา , และมลพิษน้อย [ 1 , 2 ] .
Micro Deep Drawing ซึ่งเป็นกระบวนการพื้นฐานของการสร้างไมโคร
มีศักยภาพใช้ในการขึ้นรูปถ้วยกลวงผนังบาง
, ,หรือกล่องเหมือนชิ้นส่วนของไมโคร ถ้ารวมกับอื่น ๆสร้างไมโครกระบวนการ
หลายชนิดของชิ้นส่วนขนาดเล็กสามารถผลิตได้ [ 3 ] ดังนั้น การสืบสวนของไมโครลึกวาด

จะครอบคลุมมากกว่ารูป วิธีการและกลายเป็นงานวิจัยมุ่งเน้นในการสร้างไมโคร
[ 4 ] .
เออร์ฮาร์ต et al . วิธีเลเซอร์ความร้อนท้องถิ่นเพื่อเพิ่มความสามารถในการขึ้นรูปของ
รูปวาดที่ว่างเปล่าในไมโครลึกแบบประยุกต์ [ 5 ]ซาโอโตเมะ
et al . [ 6 ] ทำการศึกษาอิทธิพลของความหนาของแผ่นขนาดชก

ใน Micro Deep Drawing โดยใช้อุปกรณ์พิเศษ .
vollertsen et al . [ 7 ] เรียน Micro Deep Drawing ตามทฤษฎี
คล้ายคลึงกับวัสดุที่แตกต่างกัน และพบว่า ค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทาน
ใน microforming สูงกว่าที่สอดคล้องกันใน
เขียน∗ . โทรศัพท์ : 86 755 22673522 ; โทรสาร : 86 755 26557471 .
อีเมล : [e-mail] ( F . กง )
macroforming . justinger et al . [ 8 ] รูปแบบไมโคร 1 mm ถ้วยด้วย
cuzn37 และพบว่าถ้วยเรขาคณิตได้รับอิทธิพลจาก
จุลภาค มานาเบะ et al . [ 9 ] พัฒนา
เจาะต่อเนื่องและแบบติดตั้ง และประดิษฐ์ถ้วยเล็กเพียง 0.5 มิลลิเมตรในเส้นผ่าศูนย์กลาง SUS304 บางเฉียบ
ใช้ฟอยล์ Chen et al . [ 10 ] รายงานว่า
ความหนาเม็ดขนาดและจำนวนเม็ดตลอดความหนา
มีอิทธิพลอย่างมากในงานไมโครลึกวาด ชิมิซุ et al .
[ 11 ] รายงานว่าพื้นผิวเครื่องมือผลกระทบอย่างมากในความสามารถในการขึ้นรูปของชิ้นส่วนไมโคร
และความถูกต้องในไมโครลึกวาด Default
et al . [ 12 ] รูปแบบที่ถ้วยขนาดเล็ก เส้นผ่าศูนย์กลางภายใน 0.75 มิลลิเมตร และศึกษา
ขีดจำกัดการขึ้นรูปโลหะโดยการ sputtered อัล ZR ฟอยล์ ฟู
et al .[ 13 ] ได้ผลในแบบเจาะลึกขนาดไมโครและการทดลองและการจำลองกระบวนการ
รูปวาด . เกา et al . [ 14 ]
เรียน Micro Deep Drawing กับสองขั้นตอนและรีดผ้าเรียบร้อยแล้ว
รูปแบบที่ถ้วยขนาดเล็ก 3.039 มม. ความสูงและ 2.218 mm
เส้นผ่านศูนย์กลางใช้ SUS304 ขนาดเม็ด 45 เมตร ซึ่งเป็นที่ 1050 C .

อบ◦เทียบกับดรอแมโคร , Micro Deep Drawing เป็น
ยาก เพราะคุณสมบัติของวัสดุหล่อลื่น เงื่อนไข และ bhf
เปลี่ยนกับ miniaturization ของขนาดตัวอย่าง [ 15 ] .
สภาพหล่อลื่นและ bhf ซึ่งสองปัจจัย
กระบวนการทั้งหมดของการวาดภาพลึก รวมทั้งการบังคับ , ดร ,
คุณภาพผิวชีวิตเครื่องมือและอื่น ๆควรจะไซ