Gridded ion sources offer the advan

Gridded ion sources offer the advantage of tightly
controlled ion energy and dose but they are not suitable for
low-energy processing due to space charge limitation of
current density.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

แหล่งไอออน gridded ข้อดีของแน่น
ไอออนควบคุมพลังงาน และยา แต่พวกเขาไม่เหมาะ
พลังงานต่ำที่ประมวลผลเนื่องจากข้อจำกัดพื้นที่ค่า
ปัจจุบันความหนาแน่น

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

แหล่งที่มาของไอออน gridded มีประโยชน์จากแน่น
พลังงานไอออนควบคุมและยา แต่พวกเขาจะไม่เหมาะสำหรับ
การประมวลผลพลังงานต่ำเนื่องจากพื้นที่ จำกัด ค่าใช้จ่ายของ
ความหนาแน่นกระแส

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

อิออนแหล่ง gridded เสนอประโยชน์ของการควบคุมพลังงานไอออนแบบแน่น

แต่ก็ยังไม่เหมาะกับการประมวลผล เนื่องจากข้อจำกัดของพื้นที่รับผิดชอบ
ความหนาแน่นกระแสประหยัดพลังงาน .