The sputtering gas used was pure Ar

The sputtering gas used was pure Argon (99.999%), of which pressure was kept at 0.4 Pa

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ใช้ก๊าซ sputtering บริสุทธิ์อาร์กอน (99.999%), ซึ่งความดันถูกเก็บไว้ที่ 0.4 Pa

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ก๊าซที่ใช้สปัตเตอร์บริสุทธิ์อาร์กอน (99.999%) ที่ความดันถูกเก็บไว้ที่ 0.4 ป่า

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การสปัตเตอร์ที่ใช้ก๊าซอาร์กอนบริสุทธิ์ ( 99.999 % ) ซึ่งแรงดันไว้ที่ 0.4 ปา