Mechanical engineeringFrom Mounting

Mechanical engineering
From Mounting methodologies to measure EUV reticle nonflatness (SPIE Proceedings 7470, 2009), by the lab of UW–Madison Professor Roxanne L. Engelstad. Notice how Battula et al. signal the practical consequence of their findings and also suggest that another result would be possible depending on further research.

Unfortunately, to map the entire reticle with a single measurement, a 12 in. beam expander is needed. With such a large optical system, the expander must be held rigidly, not allowing it to tip or tilt. Since the UW-CMC mount must remain vertical to be effective, it cannot be used in this scenario. Consequently, the application of this mount is limited. Thus, a number of new designs have been proposed by industry to address the alignment issues and provide for other options, such as automated handling. Three of these designs are described and evaluated in the following sections.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

วิศวกรรมเครื่องกลจากวิธีติดวัด EUV reticle nonflatness (SPIE ตอน 7470, 2009), โดยห้องปฏิบัติการของอาจารย์ UW – เมดิสัน Roxanne L. Engelstad สังเกตว่า Battula et al. สัญญาณสัจจะปฏิบัติของค้นพบ และยัง แนะนำที่ อื่นผลจะเป็นไปได้ขึ้นอยู่กับการวิจัยต่อไปอับ การแมป reticle ทั้ง มีวัดเดียว expander เป็นลำแสง 12 ค่ะต้อง มีขนาดใหญ่แสงกล่าว expander ที่ต้องจัด rigidly ไม่อนุญาตให้คำแนะนำ หรือเอียง ตั้งแต่ภูเขา UW CMC ต้องอยู่แนวตั้งให้มีประสิทธิภาพ ไม่สามารถใช้ในสถานการณ์นี้ ดังนั้น แอพลิเคชันของภูเขานี้มีจำกัด ดังนั้น หมายเลขของการออกแบบใหม่ได้รับการเสนอ โดยอุตสาหกรรม การจัดให้สำหรับตัวเลือกอื่น ๆ เช่นอัตโนมัติจัดการ สามออกแบบเหล่านี้จะอธิบาย และประเมินในส่วนต่อไปนี้

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

วิศวกรรมเครื่องกล
จากวิธีการติดตั้งเพื่อวัด euv Reticle nonflatness ( spie ตอน 7470 2009 ) โดยห้องทดลองของศาสตราจารย์ Roxanne L . engelstad UW แมดิสัน . แจ้งให้ทราบว่า battula et al . สัญญาณผลในทางปฏิบัติของการค้นพบของพวกเขา และยังชี้ให้เห็นว่าผลอีกจะเป็นไปได้ขึ้นอยู่กับการวิจัยเพิ่มเติม

ขออภัยแผนที่เหล้ารัมทั้งหมดด้วยการวัดเดียว 12 . คานตัวนั้นต้องการ ด้วยเช่นขนาดใหญ่แสงระบบ ตัวต้องจัด rigidly , ไม่อนุญาตให้ทิป หรือเอียง ตั้งแต่ uw-cmc ภูเขาต้องใจแนวตั้งให้มีประสิทธิภาพ มันไม่สามารถใช้ในสถานการณ์นี้ ดังนั้นการประยุกต์ใช้ของภูเขานี้มีจำกัด ดังนั้นจำนวนของการออกแบบใหม่ได้รับการเสนอโดยอุตสาหกรรมเพื่อแก้ไขปัญหาแนวร่วมและให้ตัวเลือกอื่น ๆเช่น อัตโนมัติ , การจัดการ สามของการออกแบบเหล่านี้จะอธิบายและประเมินในส่วนต่อไปนี้