There is significant motivation for

There is significant motivation for making MEMS out
of CMOS. Leveraging foundry CMOS for MEMS is fast,
reliable, repeatable, and economical. Electronics can be
placed directly next to microstructures, enabling arrayed
systems on chip. In CMOS MEMS, multiple conductors
can be placed inside of the microstructures, which enables
placement of multiple electrically isolated capacitive sensors
and electrostatic actuators. The gate polysilicon can be
embedded in the microstructures as heater resistors,
piezoresistors, or thermocouples.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

มีแรงจูงใจสำคัญสำหรับ MEMS ออกของ CMOS ใช้โรงหล่อ CMOS สำหรับ MEMS เป็นอย่างรวดเร็วเชื่อถือได้ ซ้ำ และประหยัด อิเล็กทรอนิกส์สามารถวางอยู่ติดกับ microstructures ทำรำใส่เสื้อผ้าระบบในชิพ ใน CMOS MEMS เป็นตัวนำหลายสามารถวางใน microstructures ซึ่งช่วยให้ตำแหน่งของเซนเซอร์ควบคุมไฟฟ้าแยกหลายและหัวขับไฟฟ้าสถิต Polysilicon ประตูได้ฝังตัวอยู่ใน microstructures ที่เป็นฮีตเตอร์ resistorspiezoresistors หรือเทอร์โมคัปเปิล

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

มีแรงจูงใจที่สำคัญสำหรับการทำเมมส์ออกมาเป็นของ CMOS
ใช้ประโยชน์จากการหล่อแบบ CMOS
สำหรับเมมส์เป็นไปอย่างรวดเร็วน่าเชื่อถือทำซ้ำและประหยัด อิเล็กทรอนิคส์ที่สามารถวางติดกับจุลภาคทำให้การรบระบบบนชิป ใน CMOS MEMS ตัวนำหลายสามารถวางภายในของจุลภาคซึ่งจะช่วยให้ตำแหน่งของหลายเซ็นเซอร์capacitive ที่แยกระบบไฟฟ้าและตัวกระตุ้นไฟฟ้าสถิต โพลีซิลิคอนประตูที่สามารถฝังตัวอยู่ในจุลภาคเป็นตัวต้านทานเครื่องทำน้ำอุ่น, piezoresistors หรือเทอร์โม

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

มีแรงจูงใจสำคัญที่ทำให้ MEMS ออก
ของ CMOS บริษัทโรงหล่อ CMOS MEMS สำหรับรวดเร็ว
ที่เชื่อถือได้ ทำซ้ำ และประหยัด อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่สามารถวางโดยตรงต่อไป

และให้สวมระบบบนชิป ใน CMOS MEMS หลายตัวนำ
ที่สามารถวางภายในของโครงสร้างซึ่งจะช่วยให้ตำแหน่งของระบบไฟฟ้าแยกหลาย

แบบเซ็นเซอร์ตัวกระตุ้นและไฟฟ้าสถิต . ประตู Polysilicon สามารถฝังตัวอยู่ในโครงสร้างจุลภาคเป็นอุ่น

piezoresistors ตัวต้านทาน หรือ เทอร์โมคัปเปิล .