2. Experimental details ZrOX thin f

2. Experimental details
ZrOX thin films were deposited onto high-speed steel (AISI M2), glass and single crystal silicon substrates, by reactive dc magnetron sputtering. Details on film preparation conditions can be found elsewhere [6].
The atomic composition of the as-deposition samples was measured by Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS) using a 1.4 MeV He+ beam and a 2 MeV proton beam to increase the accuracy in the oxygen signals. The analyzed area was about 0.5 * 0.5 mm2 . Ball crater tests were used to measure the thick-ness of the samples. In order to examine the film structure, X-ray diffraction experiments (XRD) were undertaken in a Philips PW 1710 apparatus, using Cu K ∝ radiation, with a step size of 0.02, a counting time of 1.25/s and a gas detector. Raman measurements were performed at room temperature with a Dilor triple monochromator, equipped with a liquid nitrogen cooled charge couple device (CCD) detector, with a resolution better than 1 cm¯¹. The excitation line, 514.5 nm, of an argon ion laser was focused onto the sample using a ×100 MS plan objective of an Olympus Microscope BHSM, in a backscattering geometry. The spectra were obtained with a measured power of about 10 mW on the sample, during an integration time of 120 s, over the range 80–1200 cm¯¹.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

2. รายละเอียดการทดลอง
ZrOX ฟิล์มบางฝากลงบนเหล็กความเร็วสูง (AISI M2) แก้วและพื้นผิวซิลิคอนผลึกเดี่ยวโดยปฏิกิริยา dc สปัตเตอร์แมก รายละเอียดเกี่ยวกับภาพยนตร์เรื่องเงื่อนไขการเตรียมความพร้อมที่สามารถพบได้ที่อื่น ๆ [6].
องค์ประกอบอะตอมของกลุ่มตัวอย่างตามการสะสมโดยวัดจาก Rutherford backscattering สเปก (RBS) โดยใช้ลำแสง 1.4 MeV เขา + และลำแสงโปรตอน MeV 2 เพื่อเพิ่มความแม่นยำในออกซิเจน สัญญาณ พื้นที่วิเคราะห์เป็นประมาณ 0.5 * 0.5 mm2 การทดสอบปล่องภูเขาไฟลูกถูกนำมาใช้ในการวัดความหนา Ness ของกลุ่มตัวอย่าง เพื่อที่จะตรวจสอบโครงสร้างของฟิล์ม X-ray การทดลองการเลี้ยวเบน (XRD) ได้รับการดำเนินการในฟิลิปส์ PW 1710 เครื่องใช้รังสี Cu K αมีขนาดขั้นตอนของ0.02เป็นเวลานับ1.25 / วินาทีและก๊าซ เครื่องตรวจจับ รามันวัดได้ดำเนินการที่อุณหภูมิห้องที่มี Dilor สาม monochromator พร้อมกับไนโตรเจนเหลวเย็นอุปกรณ์คู่ค่าใช้จ่าย (CCD) เครื่องตรวจจับที่มีความละเอียดดีกว่า 1 cm¯¹ สายการกระตุ้น 514.5 นาโนเมตรของไอออนอาร์กอนเลเซอร์เน้นไปยังกลุ่มตัวอย่างโดยใช้× 100 วัตถุประสงค์แผน MS ของโอลิมปั Microscope BHSM ในเรขาคณิต backscattering สเปกตรัมที่ได้รับกับพลังงานที่วัดได้ประมาณ 10 mW ตัวอย่างในช่วงเวลาของการรวม 120 S, ช่วง 80-1200 cm¯¹

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

2 . รายละเอียดของการทดลอง
zrox ฟิล์มบางถูกฝากไว้บนเหล็กกล้าความเร็วสูงเกรด M2 ) , กระจกและพื้นผิวซิลิกอนผลึกเดี่ยว โดยปฏิกิริยาดีซีแมกนีตรอนสปัตเตอริง . รายละเอียดเกี่ยวกับเงื่อนไขการเตรียมฟิล์มสามารถพบได้ในที่อื่น ๆ [ 6 ] .
องค์ประกอบอะตอมของตัวอย่างการตกสะสมเป็นวัดโดย Rutherford backscattering spectroscopy ( RBS ) ใช้ 14 mev เขาบีมและ 2 ของโปรตอนบีมเพื่อเพิ่มความถูกต้องในออกซิเจนสัญญาณ วิเคราะห์พื้นที่ประมาณ 0.5 * 0.5 แน่น . การทดสอบปล่องภูเขาไฟลูกถูกใช้เพื่อวัดความหนาของตัวอย่าง เพื่อศึกษาโครงสร้างของภาพยนตร์ โดยการเลี้ยวเบนรังสีเอกซ์การทดลอง ( XRD ) ดังในฟิลิปส์ PW 1710 เครื่องโดยใช้ Cu K ∝รังสี ด้วยขั้นตอนขนาด 0.02  , นับเวลา 125  / s และก๊าซ . รามันการวัดแสดงอุณหภูมิห้องด้วย dilor สามโมโนโครเมเตอร์ ซึ่งมีไนโตรเจนเหลวเย็นอุปกรณ์ชาร์จคู่ ( CCD ) เครื่องตรวจจับที่มีความละเอียดมากกว่า 1 เซนติเมตร ¯¹ . ไทเทเนียมบรรทัด 514.5 nm ของอาร์กอนไอออนเลเซอร์ถูกเน้นบนตัวอย่าง× 100 ms แผนวัตถุประสงค์ของ bhsm กล้องจุลทรรศน์ Olympus ,ใน backscattering เรขาคณิต สเปกตรัมได้ด้วยการวัดพลังงานประมาณ 10 เมกะวัตต์ ในตัวอย่าง ในระหว่างการรวมเวลา 120 วินาที กว่าช่วง 80 – 1200 cm
¯¹ .