This approach retains the low-frequ

This approach retains the low-frequency accuracy of the capacitive sensor and the wide bandwidth of the piezo sensor while avoiding the drift from the piezo sensor and wide-band noise from the capacitive sensor. The closed-loop noise was reduced from 5 nm with the capacitive sensor to 0.34 nm with both sensors. Piezoelectric force sensors have also been used for high-frequency damping control while a capacitive, inductive or strain is used for tracking control

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

วิธีการนี​​้ยังคงมีความถูกต้องความถี่ต่ำของเซ็นเซอร์ capacitive และแบนด์วิดธ์กว้างของเซ็นเซอร์ไพอีโซขณะที่หลีกเลี่ยงลอยจากเซ็นเซอร์ไพอีโซและเสียงวงกว้างจากเซ็นเซอร์ capacitive เสียงวงปิดลดลงจาก 5 นาโนเมตรกับเซ็นเซอร์ capacitive ถึง 0.34 นาโนเมตรที่มีเซ็นเซอร์ทั้งสองเซ็นเซอร์แรง piezoelectric ยังได้รับการใช้สำหรับการควบคุมการทำให้หมาด ๆ ความถี่สูงในขณะที่สายพันธุ์ capacitive, อุปนัยหรือถูกนำมาใช้สำหรับการควบคุมการติดตาม

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

วิธีนี้รักษาความถูกต้องความถี่ต่ำของเซนเซอร์ควบคุมและแบนด์วิดท์ที่กว้างของการเซ็นเซอร์ piezo เลี่ยงดริฟท์จากเซ็นเซอร์ piezo และวงดนตรีทั้งเสียงจากเซ็นเซอร์ควบคุม ปิดเสียงถูกลดลงจาก 5 nm มีเซ็นเซอร์ควบคุมการ 0.34 nm มีเซ็นเซอร์ทั้งสอง Piezoelectric กองเซ็นเซอร์ยังใช้สำหรับความถี่สูง damping ควบคุมควบคุม เหนี่ยว หรือต้องใช้จะใช้ในการติดตามควบคุม

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

วิธีนี้ยังคงรักษาไว้ซึ่งความถูกต้องความถี่ต่ำออกมาให้สูงของเซนเซอร์ระบบสัมผัสคาปาซิทีฟและแบนด์วิดธ์ที่กว้างของเซนเซอร์ตรวจวัดพีโซในขณะที่การหลีกเลี่ยงการไหลออกจากสัญญาณรบกวนแบบ wide - band และเซ็นเซอร์พีโซจากเซนเซอร์ระบบสัมผัสคาปาซิทีฟที่ ปิดเสียงรบกวน - loop ที่ลดลงจาก 5 นาโนเมตรพร้อมด้วยเซนเซอร์ระบบสัมผัสคาปาซิทีฟที่ 0.34 เมตรพร้อมด้วยเซ็นเซอร์ทั้งสองเซนเซอร์มีผลใช้บังคับฮอร์นพีโซได้รับการใช้งานสำหรับการควบคุมความถี่สูงกันสะเทือนในขณะที่ความเมื่อยล้าหรือคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้าที่มีการใช้ระบบสัมผัสคาปาซิทีฟสำหรับการติดตามการควบคุมด้วย