To evaluate sampling for automated

To evaluate sampling for automated defect inspections, a series of four inspection areas ranging from 4 cm2 were performed. Using an automated patterned wafer inspection system, 20 wafers were inspected for each of the sample sizes. Inspected die were selected in a random pattern across the wafer and remained the same for each inspection. The inspected area within each die was varied to obtain the desired total inspection area. This allowed the data for the different sample sizes to be directly compared and reduced the effect of `defect clustering'. In addition, 10 of the wafers received whole wafer inspection for comparisons to the true defect population parameters. The results were evaluated using statistical techniques. Different sample sizes are compared using statistical process control charts, linear regression, evaluation of alpha and beta risk, and defect Pareto charts. It is concluded that sampling can provide reliable and accurate defect density data for making conclusions about the defect population, if the sampled area is chosen carefully

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ประเมินสุ่มตัวอย่างสำหรับการตรวจสอบข้อบกพร่องโดยอัตโนมัติ ชุดที่ 4 ตรวจสอบพื้นที่ตั้งแต่ < 1 cm2 ไป > 4 cm2 ดำเนินการ ใช้ระบบการตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ที่มีลวดลายอัตโนมัติ รับ 20 ถูกตรวจสำหรับแต่ละขนาดตัวอย่าง ตรวจสอบตายถูกเลือกแบบสุ่มทั่วแผ่นเวเฟอร์ และอยู่เหมือนกันสำหรับการตรวจสอบแต่ละ พื้นที่ตรวจสอบภายในการตายแต่ละแตกต่างกันสามารถตั้งต้องตรวจสอบทั้งหมด นี้สามารถข้อมูลสำหรับขนาดตัวอย่างที่แตกต่างกันจะเปรียบเทียบโดยตรง และลดผลกระทบของ 'ข้อบกพร่องคลัสเตอร์' นอกจากนี้ 10 รับรับตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ทั้งหมดสำหรับเปรียบเทียบกับพารามิเตอร์ประชากรข้อบกพร่องจริง มีประเมินผลการใช้เทคนิคทางสถิติ ขนาดตัวอย่างที่แตกต่างกันจะเปรียบเทียบโดยใช้แผนภูมิควบคุมกระบวนการทางสถิติ การถดถอยเชิงเส้น การประเมินความเสี่ยงของอัลฟาและเบต้า และ defect แผนภูมิ Pareto จะสรุปได้ว่า สุ่มตัวอย่างสามารถให้ข้อมูลความหนาแน่นความบกพร่องถูกต้อง และเชื่อถือได้ทำบทสรุปเกี่ยวกับประชากรความบกพร่อง ถ้ามีเลือกตั้งตัวอย่างระมัดระวัง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในการประเมินผลการเก็บตัวอย่างเพื่อตรวจสอบข้อบกพร่องอัตโนมัติชุดของสี่ด้านการตรวจสอบตั้งแต่ <1 cm2 ไปที่> 4 cm2 ได้ดำเนินการ โดยใช้ระบบอัตโนมัติลวดลายการตรวจสอบเวเฟอร์, 20 เวเฟอร์ถูกตรวจสอบสำหรับแต่ละขนาดตัวอย่าง ตายการตรวจสอบได้รับการแต่งตั้งในรูปแบบสุ่มทั่วเวเฟอร์และยังคงอยู่เหมือนกันสำหรับแต่ละการตรวจสอบ พื้นที่ตรวจสอบภายในกันตายก็แตกต่างกันที่จะได้รับการตรวจสอบพื้นที่ทั้งหมดที่ต้องการ ข้อมูลนี้ได้รับอนุญาตสำหรับขนาดตัวอย่างที่แตกต่างกันที่จะเปรียบเทียบโดยตรงและลดผลกระทบของการจัดกลุ่มข้อบกพร่อง `' นอกจากนี้ 10 จากช็อคโกแลตที่ได้รับการตรวจสอบเวเฟอร์ทั้งหมดสำหรับการเปรียบเทียบกับค่าที่แท้จริงของประชากรข้อบกพร่อง ผลลัพธ์ที่ได้รับการประเมินโดยใช้เทคนิคทางสถิติ ขนาดตัวอย่างที่แตกต่างกันเมื่อเทียบกับการใช้แผนภูมิควบคุมกระบวนการผลิตเชิงสถิติการถดถอยเชิงเส้นการประเมินผลของอัลฟาและเบต้าความเสี่ยงและข้อบกพร่องแผนภูมิ Pareto มันสรุปได้ว่าการเก็บตัวอย่างสามารถให้ข้อมูลความหนาแน่นของข้อบกพร่องที่เชื่อถือได้และถูกต้องสำหรับการทำข้อสรุปเกี่ยวกับประชากรบกพร่องถ้าพื้นที่ตัวอย่างที่มีการเลือกอย่างระมัดระวัง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เพื่อประเมินตัวอย่างสำหรับข้อบกพร่องการตรวจสอบอัตโนมัติ , สี่ชุดของการตรวจสอบพื้นที่ตั้งแต่ < 1 > 4 cm2 CM2 เพื่อการวิจัย การใช้ลวดลายแบบอัตโนมัติระบบตรวจสอบเวเฟอร์ , 20 เวเฟอร์ถูกตรวจสอบสำหรับแต่ละตัวอย่างขนาด ตายถูกเลือกในการสุ่มตรวจสอบรูปแบบข้ามเวเฟอร์และยังคงเหมือนเดิมสำหรับแต่ละการตรวจสอบการตรวจสอบพื้นที่ภายในแต่ละตายหลากหลายเพื่อให้ได้จำนวนที่ต้องการตรวจสอบพื้นที่ นี้อนุญาตให้ข้อมูลต่าง ๆได้โดยตรง เมื่อขนาดตัวอย่างและลดผลกระทบของข้อบกพร่องของกลุ่ม ` ' นอกจากนี้ 10 ของเวเฟอร์ที่ได้รับการตรวจสอบเวเฟอร์ทั้งหมดเปรียบเทียบกับข้อบกพร่องที่แท้จริงของประชากรพารามิเตอร์ ผลวิเคราะห์โดยใช้เทคนิคทางสถิติขนาดตัวอย่างที่แตกต่างกันจะเปรียบเทียบการใช้แผนภูมิควบคุมกระบวนการเชิงสถิติการถดถอยเชิงเส้น , การประเมินความเสี่ยงของอัลฟ่าและเบต้า และข้อบกพร่องแผนภูมิพาเรโต . สรุปได้ว่ากลุ่มตัวอย่างสามารถให้ความน่าเชื่อถือและถูกต้องข้อมูลความหนาแน่นข้อบกพร่องให้ข้อสรุปเกี่ยวกับข้อบกพร่องของประชากร ถ้าตัวอย่างพื้นที่เลือกอย่างรอบคอบ