processALD of Al2O3was performed on

processALD of Al2O3was performed onto wool fabrics and silicon wafer,which was acted as a reference whether the ALD reactions hap-pen on the surface through the color change. ALD experimentwas carried out in a hot-wall closed chamber-type ALD reactor (Savannah system, Cambridge Nanotech. Inc., USA). The deposi-tion of Al2O3used trimethylaluminum (TMA) and deionized wateras the aluminum and oxygen source, respectively. Considering thehigh temperature has a significant damage on wool fiber, the ALDdeposition temperature was set at 80◦C. Prior to ALD processing,wool fabrics were placed in the ALD reactor and heated in vac-uum (7.9E−1 Torr) to 80◦C, kept at this temperature for 5 min. Thetemperature of the reactant lines for TMA and water was roomtemperature. To begin ALD, the reactor was cleaned by the nitrogen,and then two precursors were alternately introduced into the reac-tor separated by nitrogen purge step, which was critical to removebyproduct and remaining precursors. In the first half of the cycle,the wool fabric was exposed to water for 15 s followed by purgingthe nitrogen for 80 s. In the second half of the cycle, it was exposedto TMA for 15 s followed by purging the reactor with nitrogen for150 s. During ALD processing, deposition cycle was 100 and pres-sure was maintained at 3.0 Torr. Pulse time for water and TMA were0.015 and 0.2 s, respectively. The schematic process of Al2O3ALDon wool fibers is shown in Fig. 1. Moreover, ALD coated wool fabricswere heated in a muffle furnace up to 700◦C for 1 h, and the residueis named ALD-residue.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

processALD Al2O3was ทำผ้าขนสัตว์และ silicon wafer ซึ่งได้ดำเนินเป็นการอ้างอิงว่า ALD ปฏิกิริยาหาบปากกาบนพื้นผิวที่ผ่านการเปลี่ยนแปลงสี ALD experimentwas ดำเนินการเครื่องปฏิกรณ์ ALD-ผนังปิดหอชนิด (สวันนาห์ระบบ Nanotech เคมบริดจ์ อิงค์ สหรัฐอเมริกา) สเตรชัน deposi Al2O3used trimethylaluminum (TMA) และ deionized wateras อลูมิเนียมและออกซิเจนแหล่ง ตามลำดับ พิจารณาอุณหภูมิ thehigh มีความเสียหายที่สำคัญเส้นใยขนสัตว์ อุณหภูมิ ALDdeposition ถูกได้ที่ 80◦C ก่อน ALD ประมวลผล เสื้อผ้าถูกวางในเครื่องปฏิกรณ์ ALD และอุณหภูมิในระบุวัน vac (7.9E−1 ธอร์) 80◦C เก็บไว้ที่อุณหภูมินี้สำหรับ 5 นาที Thetemperature บรรทัดตัวทำปฏิกิริยา TMA และน้ำถูก roomtemperature เริ่มต้น ALD ปล่อยถูกทำความสะอาด โดยไนโตรเจน แล้ว precursors สองขึ้นมาระหว่างนำเข้าสู่ทอร์ reac ที่แยกไนโตรเจนล้างข้อมูลตอน ที่สำคัญ removebyproduct และเหลือ precursors ในช่วงครึ่งแรกของรอบ ผ้าขนสัตว์ที่สัมผัสกับน้ำ 15 s ตาม ด้วย purgingthe ไนโตรเจน 80 s ในครึ่งหลังของรอบ ก็ exposedto TMA 15 s ตาม ด้วยการล้างระบบ ด้วยไนโตรเจน for150 s ระหว่างประมวลผล ALD วงจรสะสมได้ 100 และเค้นแน่ถูกรักษาไว้ที่ธอร์ 3.0 เวลาหมุนน้ำ TMA were0.015 และ 0.2 s ตามลำดับ กระบวนการ Al2O3ALDon ขนสัตว์เส้นใยมันจะแสดงใน Fig. 1 นอกจากนี้ ALD เคลือบ fabricswere ผ้าขนสัตว์ความร้อนในตัวเตาเตาถึง 700◦C สำหรับ 1 h และ residueis ชื่อ ALD สารตกค้าง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

processALD ของ Al2O3was ดำเนินการบนผ้าขนสัตว์และเวเฟอร์ซิลิกอนซึ่งทำหน้าที่เป็นข้อมูลอ้างอิงว่าปฏิกิริยามรกต HAP ปากกาบนพื้นผิวที่ผ่านการเปลี่ยนสี มรกต experimentwas ดำเนินการในร้อนผนังปิดห้องประเภทมรกตเครื่องปฏิกรณ์ (ระบบสะวันนาเคมบริดจ์ Nanotech. อิงค์สหรัฐอเมริกา) deposi-การของ Al2O3used trimethylaluminum (TMA) และปราศจากไอออน wateras อลูมิเนียมและแหล่งที่มาของออกซิเจนตามลำดับ พิจารณาอุณหภูมิ thehigh ได้สร้างความเสียหายอย่างมีนัยสำคัญในเส้นใยขนสัตว์อุณหภูมิ ALDdeposition ตั้งอยู่ที่80◦C ก่อนที่จะมีการประมวลผลมรกตผ้าขนสัตว์ถูกวางไว้ในเครื่องปฏิกรณ์มรกตและให้ความร้อนใน Vac-UUM (7.9E-1 Torr) เพื่อ80◦Cเก็บไว้ที่อุณหภูมินี้เป็นเวลา 5 นาที Thetemperature ของสายผิดใจสำหรับ TMA และน้ำเป็น roomtemperature เพื่อเริ่มต้นมรกต, เครื่องปฏิกรณ์ที่ถูกทำความสะอาดโดยไนโตรเจนและสารตั้งต้นแล้วสองถูกนำมาสลับกันเข้า Reac-ตแยกจากกันโดยขั้นตอนล้างไนโตรเจนซึ่งเป็นสิ่งสำคัญที่จะ removebyproduct และสารตั้งต้นที่เหลือ ในช่วงครึ่งแรกของรอบผ้าขนสัตว์ได้สัมผัสกับน้ำ 15 วินาทีตามด้วยไนโตรเจน 80 s purgingthe ในช่วงครึ่งหลังของวงจรมันเป็น exposedto TMA สำหรับ 15 วินาทีตามด้วยการล้างเครื่องปฏิกรณ์ที่มีไนโตรเจน for150 s ระหว่างการประมวลผลมรกตวงจรการสะสมเป็น 100 และ pres-แน่ใจว่าได้รับการเก็บรักษาไว้ที่ 3.0 Torr เวลาชีพจรสำหรับน้ำและ were0.015 TMA และ 0.2 วินาทีตามลำดับ แผนผังของกระบวนการ Al2O3ALDon เส้นใยขนสัตว์แสดงในรูป 1. นอกจากนี้มรกตเคลือบขนสัตว์อุ่น fabricswere ในเตาเผาถึง700◦Cเป็นเวลา 1 ชั่วโมงและ residueis ชื่อมรกตตกค้าง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

processald ของ al2o3was แสดงบนเนื้อผ้าขนสัตว์และเวเฟอร์ซิลิคอน ซึ่งทำหน้าที่เป็นข้อมูลอ้างอิงว่าปฏิกิริยา ald แฮปปากกาบนพื้นผิวผ่านการเปลี่ยนสี ald กระทำออกมาผนังร้อนแบบปิดห้องปฏิกรณ์ ald ( ระบบเคมบริดจ์นาโนเทค ซาวานน่า Inc . , USA )การเ al2o3used tion ของ trimethylaluminum ( TMA ) และคล้ายเนื้อเยื่อประสาน wateras อลูมิเนียมและเป็นแหล่งออกซิเจน ตามลำดับ เมื่อพิจารณาจากอุณหภูมิสูงมีความเสียหายเส้นใยขนสัตว์ , alddeposition อุณหภูมิตั้งไว้ที่ 80 ◦ C ก่อนที่จะประมวลผล ald ผ้าขนสัตว์ถูกวางไว้ในเครื่องปฏิกรณ์ ald และความร้อนใน Vac uum ( 7.9e − 1 ทอร์ ) 80 ◦ C เก็บไว้ที่อุณหภูมินี้เป็นเวลา 5 นาทีอุณหภูมิของน้ำในเส้นก็น้ำอุณหภูมิห้อง . เริ่มต้น ald เครื่องปฏิกรณ์ถูกทำความสะอาดโดยไนโตรเจน และสารตั้งต้นเป็นสองสลับกันเปิดตัวสู่ reac TOR โดยแยกไนโตรเจนล้างขั้นตอนที่สําคัญ และที่เหลือ removebyproduct ตั้งต้น . ในช่วงครึ่งแรกของรอบขนสัตว์ผ้าโดนน้ำ 15 s ตามด้วย purgingthe ไนโตรเจน 80 s . ในครึ่งหลังของรอบ มัน exposedto TMA 15 s ตามด้วยล้างถังด้วยไนโตรเจน for150 . ในระหว่างการประมวลผล ald วัฏจักรการสะสมคือ 100 และปธน. แน่ใจไว้ที่ 3.0 ทอร์ ชีพจรเวลาน้ำและ were0.015 TMA และ 0.2 วินาที ตามลำดับกระบวนการ al2o3aldon แผนผังของเส้นใยขนสัตว์จะแสดงในรูปที่ 1 นอกจากนี้ fabricswere ขนสัตว์ ald เคลือบอุ่นในเตาเผาถึง 700 ◦ C เป็นเวลา 1 ชั่วโมง และ residueis ชื่อ ald กาก