it is highly impossible to deposit

it is highly impossible to deposit AlN thin films on two different layers with low stress values simultaneously, while keeping superior piezoelectric characteristics.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

สูงไปฝาก AlN ฟิล์มบางบนสองชั้นแตกต่างกันมีความเครียดต่ำค่าพร้อมกัน ในขณะที่เก็บลักษณะ piezoelectric ที่เหนือกว่าได้

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

มันเป็นไปไม่ได้สูงที่จะฝาก ALN ฟิล์มบางบนสองชั้นที่แตกต่างกันมีค่าความเครียดต่ำพร้อมกันขณะที่การรักษาลักษณะ piezoelectric ที่เหนือกว่า

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

มันเป็นอย่างสูงที่ไม่สามารถฝากฟิล์ม ALN 2 ชั้นที่แตกต่างกันกับระดับความเครียดค่าพร้อมกันในขณะที่การรักษาคุณสมบัติเพียโซอิเล็กทริกที่เหนือกว่า