In many cases it is convenient to choose the pseudopotential to be a constant within the ion core. The parameters of the pseudopotential can be determined from the spectroscopic data for the individual atom. Results of the empirical pseudopotential energy band calculations for some elemental and compound semiconductors with diamond and zinc blende structures are shown in Figure 4.11.(1) Figure 4.12 shows the various symmetry points displayed at the zone center (Γ) and along the (100) axis (X) and (111) axis (L) inside the first Brillouin zone of a diamond lattice. The first symmetry point, Γ, is the symmetry point located at the Brillouin zone center. The conduction band minimum and the valence band maximum that located at the Γ- point in the zone center are designated as Ec and Ev, respectively. It is noted that the conduction band is defined as the lowest empty band, while the valence band is defined as the highest filled band at T = 0 K. In most semiconductors, there exists a forbidden gap between the conduction- and valence- bands, and the values of the energy band gap may vary from 0.1 to about 6.2 eV for the semiconductors. If the conduction band minimum and the valence band maximum are located at the same k- value in the first Brillouin zone, such as the Γ- point at the zone center, then the semiconductor is called the direct band gap semiconductor. Most of the III-V compound semiconductors, such GaN, GaAs, InP, InAs, and InSb, belong to this category. Direct band gap semiconductors have been widely used in photonic device applications such as laser diodes, LEDs, and photodetectors because their band structures allow for direct optical transitions. They are also widely used in high-
speed and high- frequency device applications due to the small electron effective mass and high electron mobility in these materials. If the conduction band minimum and the valence band maximum are not located at the same k- value in the first Brillouin zone, then the semiconductor is referred to as an indirect band gap semiconductor. Elemental semiconductors such as silicon and germanium belong to this category. Table 4.1 lists the energy band gaps and the effective masses of electrons and holes for the elemental and compound semiconductors.
The conduction band of a diamond or a zinc blende crystal usually consists of several subbands or satellite bands. For example, the conduction band minimum of a germanium crystal is located at the zone boundaries along the {111} axes, while for silicon it is located near the zone boundaries along the {100} axes; these are shown in Figure 4.11b and a, respectively. It is noted that the constant energy surfaces for electrons in silicon and germanium are ellipsoidal energy surfaces, while the constant energy surface near the conduction band minimum is spherical for GaAs and other III-V compound semiconductors. Figure 4.13 shows a more detailed energy band structure of GaAs calculated from the pseudopotential method.(2) The Γ- conduction band minimum is located at the zone center, the L-conduction band valleys are located at (2π/a) (1/2,1/2,1/2) along the (111) axes, and the X-conduction band valleys are located at the zone boundaries along the (100) axes. The separation between the L-valley and the Γ-band minimum is equal to 0.29 eV. The valence band maxima of the heavy- and light-hole bands are located at the Γ- point in the Brillouin zone center. Therefore, both silicon and germanium are indirect band gap semiconductors, while GaN, GaAs, InP, and InAs are direct bandgap semiconductors. For silicon, the conduction band minima consist of six ellipsoids of constant-energy surfaces along the {100} axes with the center of each ellipsoidal energy surface located about three-fourth of the distance from the zone center to the zone boundary. For germanium, the conduction band minima consist of eight ellipsoidal constant-energy surfaces along the {111} axes with the center of each ellipsoid located at the zone boundary. Thus, for germanium there are eight half- ellipsoidal conduction band valleys inside the first Brillouin zone. For GaAs, the constant-energy surface of the Γ- conduction band minimum is spherical, and is located at the zone center. The energy versus wave vector (i.e., E vs. k) relation for electrons near the bottom of the conduction band can be expressed by
()22*2cnkEkEm=+h (4.103)
for the spherical constant energy surface, and
()2222ltcltkkEkEmm⎛⎞=++⎜⎜⎝⎠h (4.104)
for the ellipsoidal constant energy surface, where ml and mt denote the longitudinal and transverse effective masses of electrons in the conduction band, respectively.
The valence bands of silicon, germanium, and GaAs crystals consist of the heavy- and light-hole bands which are degenerate at k = 0. In addition, a spin-orbit split off band is located at a few tens of meV below the top of the heavy- and light- hole bands. This can be best described by using the band structure shown in Figure 4.13 for a GaAs crystal. In this figure, it is shown that the heavy- and light-hole bands are degenerate at the top of the valence band and may be represented by a parabolic band with different curvatures. The valence band with a smaller curvature (i.e., with a larger hole effective mass) is usually referred to as the heavy-hole band, and the valence band with a larger curvature (i.e., with a smaller hole effective mass) is known as the light-hole band. The effective masses of the light- and heavy-hole bands for Si, Ge, and GaAs are also given in Table 4.1. In general, the energy versus wave vector relation (E vs. k) for the heavy- and light- hole bands near the top of the valence bands is nonparabolic and can be expressed by
()()22v*2pkskEkEm=−h (4.105)
Where s(k) is given by
()(1/222224224224xyxzyzskABCkkkkkkkkk⎡=±+++⎣ (4.106)
Note that A, B, and C in Eq.(4.106) are constants (see Problem 4.10); the plus and minus signs correspond to the heavy-hole and light-hole bands, respectively. It should be noted that the constant-energy surfaces near the top of the valence bands are warped and nonparabolic for Si, Ge, GaAs and other III-V compound semiconductors.
Another interesting and technologically important feature for the III-V semiconductors is their ability to grow the lattice-matched ternary or quaternary compound semiconductor epitaxial layers on either the GaAs or InP semi-insulating substrates (e.g., InxGa1-xP, AlxGal-xAs and InxGal–xAsyPl–y on GaAs; InxGal–xAs and InxAll–xAs on InP substrates). Using these ternary and quaternary compound semiconductors, it is possible to change many important optical, physical, and electrical properties of the III-V compound semiconductors, such as the band gap energy and electron mobility for a wide variety of applications. In addition, many novel device structures can be
fabricated using the binary/ternary superlattice and quantum well heterojunction structures (e.g., AlxGal-xAs/GaAs, InGaAs/AlGaAs). These features are extremely important for many applications in detectors, lasers, and high-speed devices using III-V compound semiconductor epitaxial layers grown by the MOCVD and MBE techniques. Figure 4.14 shows the energy band gap versus lattice constant for Si, Ge, II-VI and III-V binary compound semiconductors.(3) The solid lines denote the direct band gap materials and the dashed lines are for the indirect band gap materials. A mixture of AlP/GaP to form AlxGal–xP, AlAs/GaAs to form AlxGal-xAs, AlSb/GaSb to form AlxGal-xSb ternary compounds, and InP/GaAs/InAs to form InxGal-xAsyPl-y quaternary compound along the vertical line of Figure 4.14 yields lattice- matched epitaxial- layers grown on the GaP, GaAs, InP, and GaSb substrates, respectively. By tailoring the energy band gap of these III-V alloy systems, it is possible to produce detectors and lasers with wavelengths covering the visible to infrared spectral range. Wide band gap semiconductors such as AlN, SiC, and GaN have been widely investigated and developed in recent years, enabling the fabrication of various electronic devices for microwave, high temperature, and high power applications. Furthermore, GaN-based ternary compounds such as AlxGa1-xN and InxGa1-xN with the energy band gaps varying from 0.7 eV to 6.2 eV have been developed for UV detectors, laser diodes and LEDs. Figure 4.15(a) and (b) show the energy band gap versus alloy composition x for GaAsxP1-x and AlxGa1-xAs ternary compound semiconductors, which illustrate the band gap variation from Eg= 1.42 eV to 2.65 eV and 2.19 eV, respectively, as x varied from 1 to 0. The variation of band gap with alloy composition in an III-V ternary material system can be estimated by using an empirical formula given by:
(4.107) 2()(0)ggExEbxcx=++
Where b is a fitting parameter, and c is called the bowing parameter which could be calculated theoretically or determined experimentally. For the AlxGa1-xAs material system, the energy band gap for the Γ-, X-, and L- valleys as a function of alloying composition x can be expressed as
2()1.4251.2471.147(0.45)gExxxΓ=++− (4.108a)
2()1.900.1250.143XgExxx=++ (4.108b) (4.108c)
ในหลายกรณี เป็นการเลือก pseudopotential เป็น ค่าคงที่ในแกนไอออน พารามิเตอร์ของ pseudopotential ที่สามารถระบุได้จากข้อมูลด้านในแต่ละอะตอม ผลลัพธ์ของการคำนวณวงพลังงานรวม pseudopotential สำหรับอิเล็กทรอนิกส์บางธาตุ และผสมกับโครงสร้างของเพชรและสังกะสี blende จะแสดงในรูปที่ 4.11 (1) รูปที่ 4.12 แสดงจุดสมมาตรต่าง ๆ ที่แสดงอยู่ที่โซน (Γ) และแกน (100) (X) และแกน (111) (L) ภายในโซน Brillouin แรกของโครงตาข่ายเพชรประกอบ จุดสมมาตรแรก Γ เป็นจุดสมมาตรอยู่ที่โซน Brillouin วงจึงต่ำและเวเลนซ์วงสูงสุดที่ตั้งอยู่ที่จุดΓในโซน กำหนดเป็น Ec และ Ev ตามลำดับ ตั้งข้อสังเกตว่า วงจึงถูกกำหนดให้เป็นวงว่างต่ำสุด ในขณะที่มีกำหนดวงเวเลนซ์เป็นวงเต็มสูงสุดที่ T = 0 คุณ ในอิเล็กทรอนิกส์มากที่สุด มีช่องว่างต้องห้ามระหว่างนำ - และเวเลนซ์วงดนตรี และค่าของช่องว่างแถบพลังงานอาจแตกต่างไปจาก 0.1 ไปประมาณ 6.2 eV สำหรับอิเล็กทรอนิกส์ที่ ถ้าวงจึงต่ำและแถบเวเลนซ์สูงสุดอยู่ที่ k-ค่าเดียวในเขต Brillouin แรก เช่นจุดΓที่โซน แล้วสารกึ่งตัวนำที่เรียกว่าสารกึ่งตัวนำช่องว่างของวงโดยตรง ส่วนใหญ่ที่ III V ผสมอิเล็กทรอนิกส์ เช่นกัน GaAs, InP, InAs และ InSb เป็นสมาชิกประเภทนี้ วงตรงช่องว่างอิเล็กทรอนิกส์ได้ถูกใช้ในโปรแกรมประยุกต์อุปกรณ์ photonic เช่นเลเซอร์ไดโอดได้ ไฟ Led และ photodetectors เนื่องจากโครงสร้างวงดนตรีของพวกเขาให้เปลี่ยนตรงแสง พวกเขายังใช้ในสูงความเร็วและความถี่สูงการใช้งานอุปกรณ์เนื่องจากอิเล็กตรอนเล็กมวลที่มีประสิทธิภาพและความคล่องตัวสูงอิเล็กตรอนในวัสดุเหล่านี้ ถ้าวงจึงต่ำและแถบเวเลนซ์สูงสุดจะไม่อยู่ที่ k-ค่าเดียวกันในโซน Brillouin แรก แล้วสารกึ่งตัวนำที่เรียกว่าสารกึ่งตัวนำช่องว่างทางอ้อมวงการ อิเล็กทรอนิกส์ธาตุซิลิกอนและเจอร์เมเนียมเป็นประเภทนี้ ตาราง 4.1 แสดงช่องว่างแถบพลังงานและมวลของอิเล็กตรอนและหลุมสำหรับอิเล็กทรอนิกส์ธาตุ และซับซ้อนมีประสิทธิภาพนำวงเพชรหรือคริสตัล blende สังกะสีมักจะประกอบด้วยหลาย subbands หรือวงการดาวเทียม ตัวอย่าง นำวงขั้นต่ำคริสตัลเจอร์เมเนียมอยู่ขอบเขตตามแนว {111} แกน ในขณะที่สำหรับซิลิคอน อยู่ใกล้ขอบเขตตามแนวแกน {100} เหล่านี้จะแสดงในรูปที่ 4.11b และ ตามลำดับ ตั้งข้อสังเกตว่า ผิวคงพลังงานสำหรับอิเล็กตรอนในซิลิกอนและเจอร์เมเนียมเป็น ellipsoidal พลังงานพื้นผิว ขณะทรงกลม GaAs และอิเล็กทรอนิกส์อื่น ๆ ผสม III V พลังงานคงพื้นผิวใกล้แถบนำกระแสต่ำสุด รูปที่ 4.13 แสดงโครงสร้างแถบพลังงานรายละเอียดเพิ่มเติมของ GaAs ที่คำนวณจากวิธี pseudopotential (2 วงΓนำ)ขั้นต่ำอยู่ที่โซน หุบเขาวง L จึงอยู่ที่ (2π) (1/2,1/2,1/2) / แกน (111) และ X-นำ วงหงายอยู่ที่ขอบเขตตามแนวแกน (100) แยกระหว่าง L-หุบเขาและวงΓต่ำสุดเท่ากับ 0.29 eV ได้ วอเตอร์ปาร์ควงเวเลนซ์ของวงดนตรีที่หนัก และเบาหลุมอยู่ที่จุดΓในเขต Brillouin ดังนั้น ซิลิกอนและเจอร์เมเนียมเป็นวงอ้อมช่องว่างอิเล็กทรอนิกส์ ในขณะที่ย่าน GaAs, InP และ InAs อิเล็กทรอนิกส์ bandgap โดยตรง สำหรับซิลิคอน กมินิมาวงจึงประกอบด้วยการ ellipsoids หกพลังงานคงพื้นผิวตามแนวแกน {100} กับศูนย์กลางของพื้นผิวแต่ละพลังงาน ellipsoidal อยู่เกี่ยวกับสามสี่ห่างจากโซนการขอบเขต สำหรับเจอร์เมเนียม กมินิมาวงจึงประกอบแปดค่าคงพลังงานพื้นผิว ellipsoidal ตามแกน {111} กับศูนย์กลางของแต่ละทรงรีที่อยู่ในขอบเขต ดังนั้น เจอร์เมเนียมมีแปดครึ่ง - นำ ellipsoidal แถบหุบเขาภายในโซน Brillouin แรก สำหรับ GaAs ผิวคงพลังงานต่ำวงΓจึงเป็นทรงกลม และอยู่ที่โซน พลังงานและความสัมพันธ์ของเวกเตอร์ (เช่น E เทียบกับ k) คลื่นสำหรับอิเล็กตรอนที่ด้านล่างของวงจึงสามารถแสดงด้วย() 22 * 2cnkEkEm = + h (4.103)สำหรับพื้นผิวทรงกลมพลังงานคง และ2222ltcltkkEkEmm⎛⎞ () = ++ ⎜⎜⎝⎠h (4.104)สำหรับพลังงาน ellipsoidal คงพื้นผิว ที่มลและ mt แสดงระยะยาว และ transverse ผลมวลของอิเล็กตรอนในวงนำ ตามลำดับวงเวเลนซ์ ของซิลิคอน เจอร์เมเนียม GaAs ผลึกประกอบด้วยวงดนตรีที่หนัก และเบาหลุมซึ่งเป็น degenerate ที่ k = 0 นอกจากนี้ การหมุนโคจรแบ่งออกวงจะอยู่ที่กี่สิบ meV ด้านล่างด้านบนของวงหนัก และแสงหลุม นี้สามารถอธิบาย โดยใช้โครงสร้างวงดนตรีที่แสดงในรูปที่ 4.13 สำหรับคริสตัล GaAs ดีที่สุด ในรูปนี้ มันจะแสดงว่า วงดนตรีที่หนัก และเบาหลุม degenerate ที่ด้านบนของแถบเวเลนซ์ และอาจแสดง โดยวงจานกับ curvatures แตกต่างกัน แถบเวเลนซ์ มีขนาดเล็กลง (เช่น มีรูที่มีขนาดใหญ่มวลที่มีประสิทธิภาพ) มักจะเรียกว่าวงดนตรีหนักหลุม และแถบเวเลนซ์ มีขนาดใหญ่ (เช่น มีรูขนาดเล็กโดยรวมมีประสิทธิภาพ) เป็นที่รู้จักกันเป็นวงไฟหลุม มวลชนที่มีประสิทธิภาพของวงแสง และหนักหลุม การ Si, Ge, GaAs ก็กำหนดในตาราง 4.1 ทั่วไป พลังงานเมื่อเทียบกับคลื่นเวกเตอร์ความสัมพันธ์ (E เทียบกับ k) สำหรับวงดนตรีที่หนัก และเบาหลุมใกล้ด้านบนของแถบเวเลนซ์มี nonparabolic และสามารถแสดงได้โดย()() 22v * 2pkskEkEm = −h (4.105)S(k) ที่ถูกกำหนดโดย() (1/222224224224xyxzyzskABCkkkkkkkkk⎡ =± +++ ⎣ (4.106)หมายเหตุ A, B และ C ใน Eq.(4.106) คงที่ (ดูปัญหา 4.10) ; การบวก และเครื่องหมายลบตรงกับวงหนักหลุม และ หลุมไฟ ตามลำดับ ก็ควรจดบันทึกว่า ค่าคงพลังงานพื้นผิวด้านบนของแถบเวเลนซ์เป็น warped และ nonparabolic Si, Ge, GaAs และอิเล็กทรอนิกส์อื่น ๆ ผสม III Vอื่นคุณลักษณะที่น่าสนใจ และเทคโนโลยีสำคัญสำหรับอิเล็กทรอนิกส์ III V มีความสามารถในการเติบโตสามตรงโครงตาข่ายประกอบ หรือชั้น quaternary ผสมสารกึ่งตัวนำ epitaxial บน GaAs หรือ InP กึ่งฉนวนพื้นผิว (เช่น InxGa1 xP, AlxGal xAs และ InxGal – xAsyPl – y บน GaAs InxGal–xAs และ InxAll – xAs บนพื้นผิว InP) ใช้อิเล็กทรอนิกส์ซับซ้อนเหล่านี้ดู และ quaternary ได้ไปเปลี่ยนสำคัญแสง ร่างกาย และไฟฟ้าคุณสมบัติของ III V ผสมอิเล็กทรอนิกส์ เช่นที่แถบช่องว่างพลังงานและอิเล็กตรอนเคลื่อนสำหรับโปรแกรมประยุกต์ที่หลากหลาย นอกจากนี้ โครงสร้างนวนิยายอุปกรณ์มากสามารถfabricated using the binary/ternary superlattice and quantum well heterojunction structures (e.g., AlxGal-xAs/GaAs, InGaAs/AlGaAs). These features are extremely important for many applications in detectors, lasers, and high-speed devices using III-V compound semiconductor epitaxial layers grown by the MOCVD and MBE techniques. Figure 4.14 shows the energy band gap versus lattice constant for Si, Ge, II-VI and III-V binary compound semiconductors.(3) The solid lines denote the direct band gap materials and the dashed lines are for the indirect band gap materials. A mixture of AlP/GaP to form AlxGal–xP, AlAs/GaAs to form AlxGal-xAs, AlSb/GaSb to form AlxGal-xSb ternary compounds, and InP/GaAs/InAs to form InxGal-xAsyPl-y quaternary compound along the vertical line of Figure 4.14 yields lattice- matched epitaxial- layers grown on the GaP, GaAs, InP, and GaSb substrates, respectively. By tailoring the energy band gap of these III-V alloy systems, it is possible to produce detectors and lasers with wavelengths covering the visible to infrared spectral range. Wide band gap semiconductors such as AlN, SiC, and GaN have been widely investigated and developed in recent years, enabling the fabrication of various electronic devices for microwave, high temperature, and high power applications. Furthermore, GaN-based ternary compounds such as AlxGa1-xN and InxGa1-xN with the energy band gaps varying from 0.7 eV to 6.2 eV have been developed for UV detectors, laser diodes and LEDs. Figure 4.15(a) and (b) show the energy band gap versus alloy composition x for GaAsxP1-x and AlxGa1-xAs ternary compound semiconductors, which illustrate the band gap variation from Eg= 1.42 eV to 2.65 eV and 2.19 eV, respectively, as x varied from 1 to 0. The variation of band gap with alloy composition in an III-V ternary material system can be estimated by using an empirical formula given by:(4.107) 2() (0) ggExEbxcx = ++ที่ขพารามิเตอร์เหมาะสม และ c คือพารามิเตอร์สีซึ่งสามารถจะคำนวณตามหลักวิชา หรือกำหนด experimentally สำหรับระบบวัสดุ AlxGa1 xAs ช่องว่างแถบพลังงาน สำหรับΓ- X- L-หุบเขาเป็นฟังก์ชันของลเท่านั้นองค์ประกอบ x สามารถแสดงเป็น(2) 1.4251.2471.147 (0.45) gExxxΓ = ++ − (4.108a)2 () 1.900.1250.143XgExxx=++ (4.108b) (4.108 c)
การแปล กรุณารอสักครู่..
