ZrOxNy thin films were deposited on

ZrOxNy thin films were deposited onto high-speed steel
(AISI M2), glass and single crystal silicon (100) substrates, by
reactive dc magnetron sputtering. Details on film preparation
conditions can be found elsewhere [6].
The atomic composition of the as-deposited samples was
measured by Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS)
using a 1.4 MeV He+ beam and a 2 MeV proton beam to increase
the accuracy in the oxygen signals. The analyzed area was about
0.5× 0.5 mm2
. Ball crater tests were used to measure the thickness
of the samples. In order to examine the film structure, X-ray
diffraction experiments (XRD) were undertaken in a Philips PW
1710 apparatus, using Cu Kα radiation, with a step size of 0.02°,
a counting time of 1.25°/s and a gas detector. Raman measurements
were performed at room temperature with a Dilor triple
monochromator, equipped with a liquid nitrogen cooled charge
couple device (CCD) detector, with a resolution better than
1 cm−1
. The excitation line, 514.5 nm, of an argon ion laser was
focused onto the sample using a ×100 MS Plan objective of an
Olympus Microscope BHSM, in a backscattering geometry. The
spectra were obtained with a measured power of about 10 mW on
the sample, during an integration time of 120 s, over the range
80–1200 cm−1

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ZrOxNy ฟิล์มบางได้ฝากลงในเหล็กกล้าความเร็วสูง(AISI M2), แก้ว และเดี่ยวซิลิคอนพื้นผิวคริสตัล (100) โดยพ่น magnetron dc ปฏิกิริยา รายละเอียดในการเตรียมฟิล์มเงื่อนไขสามารถพบอื่น ๆ [6]บทประพันธ์อะตอมตัวอย่างฝากเป็นวัดโดยรูเทอร์ฟอร์ด Backscattering ก (RBS)ใช้ 1.4 MeV เขา + ลำแสงโปรตอน 2 MeV เพื่อเพิ่มความถูกต้องในสัญญาณออกซิเจน พื้นที่การวิเคราะห์ที่เกี่ยวกับ0.5 × 0.5 มม 2 ได้ภาย. ลูกปล่องทดสอบใช้วัดความหนาตัวอย่างการ การตรวจสอบโครงสร้างฟิล์ม เอ็กซ์เรย์ได้ทำการทดลองการเลี้ยวเบน (XRD) PW ฟิลิปส์1710 เครื่อง ใช้ Cu Kα รังสี ขั้นตอนขนาด 0.02°เวลานับ 1.25 ° /s และจับก๊าซ วัดรามันได้ดำเนินการที่อุณหภูมิห้องมีทริ Dilormonochromator มีค่าไนโตรเจนเหลวระบายความร้อนด้วยคู่อุปกรณ์ (CCD) เครื่องตรวจจับ ความละเอียดที่ดีกว่า1 cm−1. บรรทัดในการกระตุ้น 514.5 nm ของการเลเซอร์ไอออนอาร์กอนได้เน้นไปยังตัวอย่างที่ใช้วัตถุประสงค์แผน 100 MS ซื้อของการโอลิมปัสกล้องจุลทรรศน์ BHSM ในทางเรขาคณิต backscattering ที่แรมสเป็คตราได้รับกับพลังงานที่วัดประมาณ 10 mW ในตัวอย่าง ช่วงเวลาการรวม 120 s ช่วงcm−1 80 – 1200

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ฟิล์มบาง ZrOxNy ถูกนำไปฝากไว้บนเหล็กความเร็วสูง
(AISI M2) แก้วและซิลิกอนผลึกเดี่ยว (100) พื้นผิวโดย
ปฏิกิริยา dc สปัตเตอร์แมก รายละเอียดเกี่ยวกับการจัดทำภาพยนตร์เรื่อง
เงื่อนไขสามารถพบได้ที่อื่น ๆ [6].
องค์ประกอบอะตอมของตามที่ฝากตัวอย่างถูก
วัดโดย Rutherford backscattering สเปก (RBS)
โดยใช้ลำแสง 1.4 MeV เขา + และลำแสงโปรตอน MeV 2 เพื่อเพิ่ม
ความแม่นยำในการออกซิเจน สัญญาณ พื้นที่วิเคราะห์เป็นเรื่องเกี่ยวกับ
0.5 × 0.5
mm2 การทดสอบปล่องภูเขาไฟลูกถูกนำมาใช้ในการวัดความหนา
ของกลุ่มตัวอย่าง เพื่อที่จะตรวจสอบโครงสร้างของฟิล์ม X-ray
การทดลองการเลี้ยวเบน (XRD) ได้รับการดำเนินการในฟิลิปส์ PW
1710 เครื่องใช้รังสี Cu Kαมีขนาดขั้นตอนของ 0.02 °,
เวลานับ 1.25 ° / วินาทีและเครื่องตรวจจับก๊าซ . รามันวัด
ได้ดำเนินการที่อุณหภูมิห้องที่มี Dilor สาม
monochromator พร้อมกับไนโตรเจนเหลวเย็นค่าใช้จ่าย
อุปกรณ์คู่ (CCD) เครื่องตรวจจับที่มีความละเอียดดีกว่า
1
เซนติเมตร-1 สายการกระตุ้น 514.5 นาโนเมตรของไอออนอาร์กอนเลเซอร์ได้รับการ
มุ่งเน้นไปยังกลุ่มตัวอย่างที่ใช้× 100 วัตถุประสงค์แผน MS ของ
โอลิมปั Microscope BHSM ในเรขาคณิต backscattering
สเปกตรัมที่ได้รับกับพลังงานที่วัดได้ประมาณ 10 mW ใน
ตัวอย่างในช่วงเวลาที่การรวมกลุ่มของ 120 S, ช่วง
80-1200-1 ซม.

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

zroxny ฟิล์มบางถูกฝากไว้บน
เหล็กความเร็วสูง ( AISI m2 ) แก้วและซิลิกอนผลึกเดี่ยว ( 100 ) พื้นผิวโดย
reactive ดีซีแมกนีตรอนสปัตเตอริง . รายละเอียดเกี่ยวกับเงื่อนไขการเตรียม
ภาพยนตร์สามารถพบได้ในที่อื่น ๆ [ 6 ] .
องค์ประกอบอะตอมของที่ฝากไว้จำนวน
วัดโดย Rutherford backscattering spectroscopy ( RBS )
ใช้ 1.4 มากกว่าเขา บีม และ 2 ของโปรตอนบีมเพิ่ม
ความถูกต้องในออกซิเจนสัญญาณ วิเคราะห์พื้นที่ประมาณ 0.5 × 0.5 แน่น

การทดสอบหาลูกบอลถูกใช้เพื่อวัดความหนา
ของตัวอย่าง เพื่อศึกษาโครงสร้างของภาพยนตร์ โดยการเลี้ยวเบนรังสีเอกซ์
การทดลอง ( XRD ) เคยดังในฟิลิปส์ PW
1710 เครื่องโดยใช้ Cu K αรังสี ด้วยขั้นตอนขนาด 0.02 /
, นับเวลา 1.25 / / s และก๊าซ . การวัด
รามันมีการปฏิบัติที่อุณหภูมิห้องด้วย dilor สาม
โมโนโครเมเตอร์ ซึ่งมีไนโตรเจนเหลวเย็นอุปกรณ์ชาร์จคู่
( CCD ) เครื่องตรวจจับที่มีความละเอียดมากกว่า
1 cm − 1

ไทเทเนียมบรรทัด 514.5 nm ของอาร์กอนไอออนเลเซอร์เป็น
เน้นบนตัวอย่าง× 100 ms แผนวัตถุประสงค์ของ bhsm กล้องจุลทรรศน์
โอลิมปัส ใน backscattering เรขาคณิต
สเปกตรัมที่ได้วัดพลังของประมาณ 10 เมกะวัตต์ใน
ตัวอย่าง ในระหว่างการรวมกลุ่มเวลา 120 วินาที ช่วงที่
80 – 1200 ซม. − 1