The electron beam is narrowly focus

The electron beam is narrowly focused until it enters the specimen. There the electrons scatter in an interaction volume that can be microns wide. This limits the resolution of EBIC measurements. Below (left) is a simulation of trajectories that electrons take when they enter silicon.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ลำแสงอิเล็กตรอนจะแคบ ๆ เน้นจนกว่าจะป้อนสิ่งส่งตรวจ มีอิเล็กตรอนกระจายในไดรฟ์ข้อมูลแบบโต้ตอบที่สามารถกว้าง microns วิธีนี้ช่วยจำกัดความละเอียดของการวัด EBIC ด้านล่าง (ซ้าย) คือการจำลอง trajectories ที่อิเล็กตรอนใช้รหัสซิลิคอน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ลำแสงอิเล็กตรอนจะเน้นแคบ ๆ จนกว่าจะเข้าสู่ชิ้นงาน มีอิเล็กตรอนกระจายในปริมาณปฏิสัมพันธ์ที่สามารถไมครอนกว้าง นี้จะช่วย จำกัด ละเอียดของการวัด EBIC ด้านล่าง (ซ้าย) เป็นแบบจำลองของลูกทีมว่าอิเล็กตรอนจะใช้เมื่อพวกเขาเข้าไปซิลิกอน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

อิเล็กตรอนลำแสงเป็นแคบเน้นจนเข้าสู่ชิ้นงาน มีอิเล็กตรอนกระจายในหมวดโต้ตอบที่สามารถไมครอน กว้าง นี้ จำกัด ความละเอียดการวัด ebic . ด้านล่าง ( ซ้าย ) เป็นการจำลองวิถีที่อิเล็กตรอนใช้เมื่อพวกเขาใส่ซิลิคอน