The phase composition of films is cr

The phase composition of films is crucial for their mechanical,electrical, and optical performance. In sputtering processes relatively low growth temperatures and high deposition rates result in a limited mobility of the film forming species [2,3]. This induces kinetic limitations in the growth process and results in non-equilibrium
growth [2,3]. Thus, the variation of both thermodynamic and kinetic conditions during deposition enables tailoring of the phase composition. Numerous studies have demonstrated that energetic ions can be used for this purpose, since they can trigger surface and bulk diffusion processes [2,3], induce changes in the film structure, [155] and cause generation of internal stresses [19,20,22,23]. The high fluxes of ionized
material available inHPPMS have been found to allowfor control of the phase formation in both elemental and compound films. For instance,HPPMS can be used to deposit carbon films with high fractions of

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

องค์ประกอบของเฟสของ films เป็นสิ่งสำคัญสำหรับประสิทธิภาพของเครื่องจักรกล ไฟฟ้า และแสง ในกระบวนการพ่นค่อนข้างต่ำเจริญเติบโตอุณหภูมิ และอัตราสะสมสูงทำให้คล่องของ film ขึ้นรูปชนิด [2,3] นี้ก่อให้เกิดข้อจำกัดเดิม ๆ ในการเจริญเติบโต และเกิดการไม่สมดุล
[2,3] การเจริญเติบโต ดังนั้น รูปแบบของเงื่อนไขขอบ และเคลื่อนไหวในระหว่างสะสมช่วยให้ปรับปรุงของส่วนประกอบขั้นตอน การศึกษาจำนวนมากได้แสดงว่า ประจุมีพลังสามารถใช้สำหรับวัตถุประสงค์นี้ เนื่องจากพวกเขาสามารถทำให้เกิดพื้นผิวจำนวนมากกระบวนการแพร่ [2,3], ก่อให้เกิดการเปลี่ยนแปลงในโครงสร้าง film, [155] และทำให้สร้างความเครียดภายใน [19,20,22,23] fluxes สูงของ ionized
พบ inHPPMS วัสดุมีการควบคุมการก่อตัวระยะในธาตุ และผสม films allowfor สามารถใช้ HPPMS ฝาก films คาร์บอนกับส่วนสูงของตัวอย่าง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

องค์ประกอบเฟสของ LMS ไฟเป็นสิ่งสำคัญสำหรับเครื่องกลไฟฟ้าและประสิทธิภาพการทำงานของพวกเขาแสง ในกระบวนการสปัตเตอร์อุณหภูมิการเจริญเติบโตที่ค่อนข้างต่ำและอัตราการสะสมสูงทำให้เกิดการ จำกัด การเคลื่อนไหวของสปีชีส์ไฟลูเมนขึ้น [2,3] นี้ทำให้เกิดข้อ จำกัด ในการเคลื่อนไหวในกระบวนการการเจริญเติบโตและผลในการไม่สมดุล
การเจริญเติบโต [2,3] ดังนั้นการเปลี่ยนแปลงของสภาพทั้งทางอุณหพลศาสตร์และการเคลื่อนไหวในช่วงการสะสมช่วยให้การตัดเย็บขององค์ประกอบขั้นตอน การศึกษาหลายชิ้นแสดงให้เห็นว่ามีพลังไอออนสามารถนำมาใช้เพื่อการนี้เนื่องจากพวกเขาสามารถทำให้เกิดพื้นผิวและกระบวนการกระจายจำนวนมาก [2,3], เหนี่ยวนำให้เกิดการเปลี่ยนแปลงในโครงสร้างไฟลูเมน, [155] และก่อให้เกิดการสร้างความเครียดภายใน [19,20, 22,23] UXES ชั้นสูงของการแตกตัวเป็นไอออน
วัสดุ inHPPMS ใช้ได้ได้พบว่า allowfor การควบคุมของการสร้างขั้นตอนทั้งในธาตุและสารประกอบ LMS ไฟ ตัวอย่างเช่น HPPMS สามารถใช้ในการฝากเงิน LMS ไฟคาร์บอนที่มีส่วนสูงของ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ขั้นตอนการสอนจึงเป็นสิ่งสำคัญสำหรับพวกเขา เครื่องกล ไฟฟ้า และการแสดงแสง ในกระบวนการทำงานที่อุณหภูมิค่อนข้างต่ำและมีอัตราการเติบโตสูง เป็นผลในการเคลื่อนไหว จำกัด ของจึงขึ้นรูปชนิด LM [ 2 ] นี้ก่อให้เกิดข้อ จำกัด การเคลื่อนไหวในกระบวนการเติบโตและผลในการไม่สมดุล
[ 3 ] ดังนั้นการเปลี่ยนแปลงของเงื่อนไขในการใช้จลนพลศาสตร์เทอร์โมไดนามิกส์และตัดเย็บของเฟสองค์ประกอบ การศึกษามากมายได้แสดงให้เห็นว่า ประจุพลังที่สามารถใช้สำหรับวัตถุประสงค์นี้ เนื่องจากพวกเขาสามารถกระตุ้นผิว และเป็นกลุ่มกระจายกระบวนการ [ 2 ] , ก่อให้เกิดการเปลี่ยนแปลงในโครงสร้างจึง LM [ 155 ] และเพราะรุ่นภายในเน้น [ 19,20,22,23 ]สูง uxes flของ inhppms ประจุ
วัสดุที่ใช้ได้มีการพบ allowfor ควบคุมระยะการก่อตัว ทั้งธาตุและสารประกอบจึง LMS . ตัวอย่าง hppms สามารถใช้เงินฝากคาร์บอนสูงจึง LMS กับเศษส่วน