Why Didn’t MEMS Take Off in 1965?•

Why Didn’t MEMS Take Off in 1965?
• Resonant gate transistor was a poor on-chip frequency
reference à metals have a high temperature sensitivity
and don’t have a sharp resonance (low-Q) … specific
application didn’t “fly”
• In 1968, Robert Newcomb (Stanford, now Maryland)
proposed and attempted to fabricate a surface
micromachined electromagnetic motor after seeing the
Westinghouse work
– Energy density scaling for this type of motor indicated
performance degradation as dimensions were reduced …
– Materials incompatibility with Stanford’s Microelectronics Lab
research focus on electronic devices became a major issue

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

MEMS ทำไมไม่ได้ในการจะออกในปี 1965•ประตูคงทรานซิสเตอร์ถูกความถี่ออดีอ้างอิงàโลหะมีความไวสูงอุณหภูมิและไม่มีความคมชัดเสียงสะท้อน (ต่ำ-Q)...เฉพาะโปรแกรมประยุกต์ไม่ได้ "บิน"•ในปี 1968, Robert Newcomb (สแตนฟอร์ด แมรี่แลนด์ตอนนี้)การนำเสนอ และพยายามปั้นพื้นผิวมอเตอร์ไฟฟ้า micromachined หลังจากเห็นการงานเวสติงเฮาส์-พลังงานความหนาแน่นขนาดมอเตอร์ชนิดนี้ระบุประสิทธิภาพเป็นมิติถูกลด...-วัสดุกันกับห้องปฏิบัติการไมโครอิเล็กทรอนิกส์ของสแตนฟอร์ดอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์เน้นวิจัยกลายเป็น ปัญหาใหญ่

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ทำไมไม่ MEMS Take Off ในปี 1965?
•พ้องประตูทรานซิสเตอร์เป็นที่น่าสงสารบนชิปความถี่
อ้างอิงàโลหะมีความไวต่ออุณหภูมิสูง
และไม่ได้มีความคมชัดเสียงสะท้อน (ต่ำ-Q) ... โดยเฉพาะ
การประยุกต์ใช้ไม่ได้ " บิน "
•ในปี 1968 โรเบิร์ต Newcomb (Stanford ตอนนี้แมรี่แลนด์)
เสนอและความพยายามที่จะสร้างพื้นผิว
มอเตอร์แม่เหล็กไฟฟ้า micromachined หลังจากที่ได้เห็น
การทำงาน Westinghouse
- ปรับความหนาแน่นของพลังงานสำหรับประเภทของมอเตอร์นี้แสดงให้เห็น
ประสิทธิภาพการย่อยสลายเป็นมิติลดลง ...
- วัสดุเข้ากันไม่ได้กับ สแตนฟอร์สไมโครอิเล็กทรอนิกส์ Lab
มุ่งเน้นการวิจัยเกี่ยวกับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กลายเป็นปัญหาใหญ่